СИНТЕЗ ТОНКИХ ПЛЕНОК CuInSe2 МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ И ИХ СВОЙСТВА

  • Yuliya V. Gerasimenko Герасименко Юлия Владимировна — к.ф.-мат.н., старший научный сотрудник кафедры общей и неорга- нической химии Воронежского государственного университета; тел.: (4732) 208445, e-mail: yuliya-gerasimenko@ yandex.ru
  • Alexander A. Maksimenko Максименко Александр Александрович — к.ф.-мат.н., старший научный сотрудник Технопарка Воронежского государственного университета; тел.: (4732) 276303, email: maximencoalex@mail.ru
  • Sergey N. Saltykov Салтыков Сергей Николаевич — к.х.н., докторант Воронежского государственного университета, доцент кафедры Химии Липецкого государственного техниче ского университета; тел.: (4732) 276303, e-mail: saltsn@ mail.ru
  • Alexey N. Kharin Харин Алексей Николаевич — к.ф.-м.н., директор Центра Коллективного пользования научным оборудо- ванием Воронежского государственного университета; тел.: (4732) 207548, e-mail: a_kharin@mail.ru
  • Dmitry A. Khoviv Ховив Дмитрий Александрович — к.ф.-м.н., старший научный сотрудник кафедры материаловедения и инду- стрии наносистем, Воронежский государственный университет; тел.: (4732) 276303, e-mail: dkhoviv@inbox.ru
  • Alexander М. Khoviv Ховив Александр Михайлович — д. ф.-мат. н., д.х.н., профессор, первый проректор Воронежского государственного университета; тел: (4732) 772633, e-mail: khoviv@vsu.ru
Ключевые слова: тонкая пленка, магнетронное распыление, кристаллизация, отжиг.

Аннотация

Тонкие пленки трехкомпонентного полупроводникового соединения CuInSe2 (CIS) были синтезированы методом магнетронного распыления предварительно подготовленной мишени материала системы Cu — In — Se. Проведено исследование фазового состава, опти-
ческих свойств и электропроводности в зависимости от температуры отжига. Показано, что в полученных пленках поглощение света происходит за счет прямых разрешенных межзонных переходов. Определенны значения энергии прямого перехода, показана положительная зависимость проводимости от температуры отжига тонких пленок.

Скачивания

Данные скачивания пока не доступны.

Литература

1. Liu, H.-J. , Wang, L., Yang, D.-R., et al. // J. of Synthetic Crystals. 2010. V. 39. № 3. P. 573—577.
2. Klaer, Reiner Klenka, Hans-Werner Schock. // Thin Solid Films.2007. V. 515. № 15. P. 5929—5933.
3. Schok H. W., Shah A. // 14 European Photovoltaic Solar Energy Conf: Proceeding of the conference. Barcelona (Spain), 1997. P. 2000—2005.
4. Baetzner D. L., Romeo A., Zogg H., Tiwari A. N. // Proceedings of 29th IEEE Photovoltaic Special Conference (Glasgow, UK), 2000. P. 2100.
5. Данилин Б. С., Сырчин В. К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982. 72 с.
6. PDF-2/Release 2007 RDB 2.0704.
7. Миронов В. Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. М.: Техносфера, 2004.
Опубликован
2010-12-16
Как цитировать
Gerasimenko, Y. V., Maksimenko, A. A., Saltykov, S. N., Kharin, A. N., Khoviv, D. A., & KhovivA. М. (2010). СИНТЕЗ ТОНКИХ ПЛЕНОК CuInSe2 МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ И ИХ СВОЙСТВА. Конденсированные среды и межфазные границы, 12(4), 355-359. извлечено от https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/1133
Выпуск
Том 12 № 4 (2010)
Раздел
Статьи