ВЫСОКОСКОРОСТНОЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ НИОБАТА ЛИТИЯ

Vyacheslav. V. Gulyaev; Jury I. Dikerev; Vladimir М. Rubinstein; Sergey М. Tsvetkov; Evgenie N. Bormontov

Vyacheslav. V. Gulyaev Гуляев Вячеслав Валентинович — аспирант кафедры физики полупроводников и микроэлектроники Воро- нежского государственного университета; тел.: 8(920) 2170651, e-mail: vv_gulyaev@mail.ru
Jury I. Dikerev Дикарев Юрий Иванович — к.т.н., доцент кафедры физики полупроводников и микроэлектроники Воронежского государственного университета; тел.: 8(4732) 208917
Vladimir М. Rubinstein Рубинштейн Владимир Михайлович — к.т.н., старший научный сотрудник кафедры физики полупрово- дников и микроэлектроники Воронежского государственного университета; тел.: (4732) 208917
Sergey М. Tsvetkov Цветков Сергей Михайлович — научный сотрудник кафедры физики полупроводников и микроэлектроники Воронежского государственного университета; тел.: (4732) 208917
Evgenie N. Bormontov Бормонтов Евгений Николаевич — д. ф.-мат.н, профессор, зав. кафедрой физики полупроводников и микроэлектроники Воронежского государственного университета; тел.: (4732) 208917

Ключевые слова: плазмохимическое травление, ниобат лития, скорость травления, методы электронной микроскопии, рентгеновской микроанализ, физико-химическая модель взаимодействия.

Аннотация

Изучены кинетика, механизм и особенности высокоскоростного плазмохимического травления монокристаллического LiNbO3 в газоразрядной фторсодержащей плазме. Установлено, что этот процесс является типичным топохимическим. Методами растровой
электронной микроскопии, рентгеновского микроанализа и рентгеновской дифрактометрии определены: динамика изменения морфологии поверхностного слоя, элементный и фазовый состав твердых продуктов реакций. Разработана физико-химическая модель травления.

Скачивания

Данные скачивания пока не доступны.

Литература

1. Lee C. L. Lu C. L. // Appl, Phys, Lett. 1979. V. 35. № 10. P. 756—758.
2. Shima K. Mitsugi N., Nagata H. // Material Research Sosiety. 2007. V. 49. № 8. P. 257—259.
3. Park W. J., Yang W. S., Kim W. K., et al. // Optical Materials. 2006. V. 28. P. 216—220.
4. Гольдфарб В. А., Дикарев Ю. И., Петраков В. И. // Матер. VI междунар. научн.-техн. конф. «Радиолокация, навигация, связь». Воронеж, 2000. Т. 3. С. 1954—1960.
5. Райзер Ю. П., Шнейдер М. Н., Яценко Н. А. Высокочастотный емкостной разряд: Физика. Техника эксперимента. М.: Наука. Физматлит, 1995. 320 с.
6. Розовский А. Я. Гетерогенные химические реакции (кинетика и макрокинетика). М.: Наука, 1980. 324 с.
7. Данилин Б. С., Киреев В. С. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. М.: Энергоатомиздат, 1987. 264с.
8. Кузьминов Ю. С. Электрооптический и нелинейно оптический кристалл ниобата лития. М.: Наука, 1987. 264 с.