Подтверждение методом картирования тока, наведенного электронным пучком, самопроизвольного легирования GaN нитевидных нанокристаллов из вицинальной подложки SiC/Si

  • Родион Романович Резник ФГБОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный университет», Университетская набережная, 7-9, Санкт-Петербург 199034, Российская Федерация; ФГБОУ ВОН «Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук», ул. Хлопина, 8, к. 3, Санкт-Петербург 194021, Российская Федерация; ФГБОУН «Институт аналитического приборостроения Российской академии наук», ул. Ивана Черных, 31-33, Санкт-Петербург 198095, Российская Федерация https://orcid.org/0000-0003-1420-7515
  • Владислав Олегович Гридчин ФГБОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный университет», Университетская набережная, 7-9, Санкт-Петербург 199034, Российская Федерация; ФГБОУ ВОН «Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук», ул. Хлопина, 8, к. 3, Санкт-Петербург 194021, Российская Федерация; ФГБОУН «Институт аналитического приборостроения Российской академии наук», ул. Ивана Черных, 31-33, Санкт-Петербург 198095, Российская Федерация https://orcid.org/0000-0002-6522-3673
  • Константин Павлович Котляр ФГБОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный университет», Университетская набережная, 7-9, Санкт-Петербург 199034, Российская Федерация; ФГБОУ ВОН «Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук», ул. Хлопина, 8, к. 3, Санкт-Петербург 194021, Российская Федерация; ФГБОУН «Институт аналитического приборостроения Российской академии наук», ул. Ивана Черных, 31-33, Санкт-Петербург 198095, Российская Федерация https://orcid.org/0000-0002-0305-0156
  • Владимир Владимирович Неплох ФГБОУ ВОН «Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук», ул. Хлопина, 8, к. 3, Санкт-Петербург 194021, Российская Федерация https://orcid.org/0000-0001-8158-0681
  • Андрей Викторович Осипов ФГБУН «Институт Проблем Машиноведения Российской академии наук», Большой проспект В.О, 61, Санкт-Петербург 199178, Российская Федерация https://orcid.org/0000-0002-2911-7806
  • Сергей Арсеньевич Кукушкин ФГБУН «Институт Проблем Машиноведения Российской академии наук», Большой проспект В.О, 61, Санкт-Петербург 199178, Российская Федерация https://orcid.org/0000-0002-2973-8645
  • Omar Saket Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), Univ. Paris-Saclay, 10 Boulevard Thomas, Gobert, Palaiseau 91120, Франция https://orcid.org/0000-0002-9002-5871
  • Maria Tchernycheva Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), Univ. Paris-Saclay, 10 Boulevard Thomas, Gobert, Palaiseau 91120, Франция https://orcid.org/0000-0003-4144-0793
  • Георгий Эрнстович Цырлин ФГБОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный университет», Университетская набережная, 7-9, Санкт-Петербург 199034, Российская Федерация; ФГБОУ ВОН «Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук», ул. Хлопина, 8, к. 3, Санкт-Петербург 194021, Российская Федерация; ФГБОУН «Институт аналитического приборостроения Российской академии наук», ул. Ивана Черных, 31-33, Санкт-Петербург 198095, Российская Федерация https://orcid.org/0000-0003-0476-3630
Ключевые слова: полупроводники, GaN, нитевидные нанокристаллы, молекулярно-пучковая эпитаксия, спонтанное легирование, кремний, карбид кремния, метод наведённого тока

Аннотация

     Данная работа посвящена подтверждению спонтанного легирования GaN нитевидных нанокристаллов, выращенных на вицинальных гибридных подложках SiC/Si, методом картирования тока, наведенного электронным пучком.
     Нитевидные нанокристаллы (ННК) GaN выращивались на сингулярных и вицинальных подложках SiC/Si методом молекулярно-пучковой эпитаксии с плазменной активацией азота. Морфологические свойства нитевидных нанокристаллов исследуются методами растровой электронной микроскопии. Электрофизические свойства выращенных наноструктур исследуются методом картирования тока, наведенного электронным пучком.
       Методом картирования тока, наведенного электронным пучком, нами было подтверждено спонтанное легирование GaN ННК, выращенных на вицинальных пластинах SiC/Si. В свою очередь, было показано, что выращенные на сингулярных подложках SiC/Si GaN ННК не демонстрирует сигнала наведённого тока, что указывает на отсутствие легирования в таком ННК

Скачивания

Данные скачивания пока не доступны.

Биографии авторов

Родион Романович Резник, ФГБОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный университет», Университетская набережная, 7-9, Санкт-Петербург 199034, Российская Федерация; ФГБОУ ВОН «Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук», ул. Хлопина, 8, к. 3, Санкт-Петербург 194021, Российская Федерация; ФГБОУН «Институт аналитического приборостроения Российской академии наук», ул. Ивана Черных, 31-33, Санкт-Петербург 198095, Российская Федерация

к. ф.-м. н., заведующий лабораторией, Санкт-Петербургский государственный университет; Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический
университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук; Институт аналитического приборостроения Российской академии наук (Санкт-Петербург, Российская Федерация)

Владислав Олегович Гридчин, ФГБОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный университет», Университетская набережная, 7-9, Санкт-Петербург 199034, Российская Федерация; ФГБОУ ВОН «Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук», ул. Хлопина, 8, к. 3, Санкт-Петербург 194021, Российская Федерация; ФГБОУН «Институт аналитического приборостроения Российской академии наук», ул. Ивана Черных, 31-33, Санкт-Петербург 198095, Российская Федерация

к. ф.-м. н., м. н. с., Санкт-Петербургский государственный университет; Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук; Институт аналитического приборостроения Российской академии наук (Санкт-Петербург, Российская Федерация)

Константин Павлович Котляр, ФГБОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный университет», Университетская набережная, 7-9, Санкт-Петербург 199034, Российская Федерация; ФГБОУ ВОН «Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук», ул. Хлопина, 8, к. 3, Санкт-Петербург 194021, Российская Федерация; ФГБОУН «Институт аналитического приборостроения Российской академии наук», ул. Ивана Черных, 31-33, Санкт-Петербург 198095, Российская Федерация

к. ф.-м. н., м. н. с, Санкт-Петербургский государственный университет; Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук; Институт аналитического приборостроения Российской академии наук (Санкт-Петербург, Российская Федерация)

Владимир Владимирович Неплох, ФГБОУ ВОН «Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук», ул. Хлопина, 8, к. 3, Санкт-Петербург 194021, Российская Федерация

к. ф.-м. н., с. н. с., Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук (Санкт-Петербург, Российская Федерация)

Андрей Викторович Осипов, ФГБУН «Институт Проблем Машиноведения Российской академии наук», Большой проспект В.О, 61, Санкт-Петербург 199178, Российская Федерация

д. ф.-м. н., гл. н. с., Институт проблем машиноведения Российской
академии наук (Санкт-Петербург, Российская Федерация)

Сергей Арсеньевич Кукушкин, ФГБУН «Институт Проблем Машиноведения Российской академии наук», Большой проспект В.О, 61, Санкт-Петербург 199178, Российская Федерация

д. ф.-м. н., заведующий лабораторией, Институт проблем машиноведения Российской академии наук (Санкт-Петербург, Российская Федерация)

Omar Saket, Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), Univ. Paris-Saclay, 10 Boulevard Thomas, Gobert, Palaiseau 91120, Франция

к. ф.-м. н., н. с., Центр нанонаук и нанотехнологий (C2N), Университет Париж-Сакле (Палезо, Франция)

Maria Tchernycheva, Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N), Univ. Paris-Saclay, 10 Boulevard Thomas, Gobert, Palaiseau 91120, Франция

д. ф.-м. н., заведующая лабораторией, Центр нанонаук и нанотехнологий
(C2N), Университет Париж-Сакле ( Палезо, Франция)

Георгий Эрнстович Цырлин, ФГБОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный университет», Университетская набережная, 7-9, Санкт-Петербург 199034, Российская Федерация; ФГБОУ ВОН «Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук», ул. Хлопина, 8, к. 3, Санкт-Петербург 194021, Российская Федерация; ФГБОУН «Институт аналитического приборостроения Российской академии наук», ул. Ивана Черных, 31-33, Санкт-Петербург 198095, Российская Федерация

д. ф.-м. н., заведующий лабораторией, Санкт-Петербургский государственный университет; Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук; Институт аналитического приборостроения Российской академии наук (Санкт-Петербург, Российская Федерация).

Литература

Kente T., Mhlanga S. D. Gallium nitride nanostructures: Synthesis, characterization and applications. Journal of Crystal Growth. 2016;444: 55–72. https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2016.03.033

Patra S. K., Schulz S. Electrostatic built-in fields in wurtzite III-N nanostructures: Impact of growth plane on second-order piezoelectricity. Physical Review B. 2017;96(15): 155307. http://dx.doi.org/10.1103/PhysRevB.96.155307

Gridchin V. O., Kotlyar K. P., Reznik R. R., Borodin B. R., Kudryashov D. A., Alekseev P. A., Cirlin G. E. Electrical properties of InGaN nanostructures with branched morphology synthesized via MBE on p-type Si (111). Journal of Physics: Conference Series. 2020;1695(1): 012030. https://doi.org/10.1088/1742-6596/1695/1/012030

Pearton S. J., Ren F. GaN electronics. Advanced Materials. 2000;12(21): 1571–1580. https://doi.org/10.1002/1521-4095(200011)12:21<1571::AIDADMA1571>3.0.CO;2-T

Chen F., Ji X., Lau S. P. Recent progress in group III-nitride nanostructures: From materials to applications. Materials Science and Engineering: R: Reports. 2020;142: 100578. https://doi.org/10.1016/j.mser.2020.100578

Gridchin V. O., Kotlyar K. P., Reznik R. R., … Cirlin G. G. Multi-colour light emission from InGaN nanowires monolithically grown on Si substrate by MBE. Nanotechnology. 2021;32(33): 335604. https://doi.org/10.1088/1361-6528/ac0027

Tijent F. Z., Voss P., Faqir M. Recent advances in InGaN nanowires for hydrogen production using photoelectrochemical water splitting. Materials Today Energy. 2023;33: 101275. https://doi.org/10.1016/j.mtener.2023.101275

Mäntynen H., Anttu N., Sun Z., Lipsanen H. Single-photon sources with quantum dots in III–V nanowires. Nanophotonics. 2019;8(5): 747–769. https://doi.org/10.1515/nanoph-2019-0007

Leandro L., Gunnarsson C. P., Reznik R., … Akopian, N. Nanowire quantum dots tuned to atomic resonances. Nano Letters. 2018;18(11): 7217–7221. https://doi.org/10.1021/acs.nanolett.8b03363

Heiss M., Fontana Y., Gustafsson A., … Fontcuberta i Morral A. Self-assembled quantum dots in a nanowire system for quantum photonics. Nature Materials. 2013;12(5): 439–444. https://doi.org/10.1038/NMAT3557

Deshpande S., Frost T., Yan L., … Bhattacharya P. Formation and nature of InGaN quantum dots in GaN nanowires. Nano Letters. 2015;15(3): 1647–1653. https://doi.org/10.1021/nl5041989

Consonni V. Self-induced growth of GaN nanowires by molecular beam epitaxy: A critical review of the formation mechanisms. Physica Status Solidi (RRL)–Rapid Research Letters. 2013;7(10): 699–712. https://doi.org/10.1002/pssr.201307237

Arthur J. R. Molecular beam epitaxy. Surface Science. 2002;500(1-3): 189–217.

Dubrovskii V. G. Theory of diffusion-induced selective area growth of III-V nanostructures. Physical Review Materials. 2023;7(2): 026001. https://doi.org/10.1103/PhysRevMaterials.7.026001

Tribu A., Sallen G., Aichele T., … Kheng K. A high-temperature single-photon source from nanowire quantum dots. Nano Letters. 2008;8(12): 4326–4329.https://doi.org/10.1021/nl802160z

Alekseev P. A., Sharov V. A., … Lähderanta E. Piezoelectric current generation in wurtzite GaAs nanowires. Physica Status Solidi (RRL) – Rapid Research Letters. 2018;12(1): 1700358. https://doi.org/10.1002/pssr.201700358

Cirlin G. E., Reznik R. R., Shtrom I. V., … Akopian N. AlGaAs and AlGaAs/GaAs/AlGaAs nanowires grown by molecular beam epitaxy on silicon substrates. Journal of Physics D: Applied Physics. 2017;50(48): 484003. https://doi.org/10.1088/1361-6463/aa9169

Cirlin G. E., Dubrovskii V. G., Soshnikov I. P., … Glas F. Critical diameters and temperature domains for MBE growth of III–V nanowires on lattice mismatched substrates. Physica Status Solidi (RRL) – Rapid Research Letters. 2009:3(4): 112-114. https://doi.org/10.1002/pssr.200903057

Talalaev V. G., Tomm J. W., Kukushkin S. A., … Cirlin G. E. Ascending Si diffusion into growing GaN nanowires from the SiC/Si substrate: up to the solubility limit and beyond. Nanotechnology. 2020;31(29): 294003. https://doi.org/10.1088/1361-6528/ab83b6

Lavenus P., Messanvi A., Rigutti L. … Tchernycheva M. Experimental and theoretical analysis of transport properties of core–shell wire light emitting diodes probed by electron beam induced current microscopy. Nanotechnology. 2014;25(25): 255201. https://doi.org/10.1088/0957-4484/25/25/255201

Yakimov E. B., Borisov S. S., Zaitsev S. I. EBIC measurements of small diffusion length in semiconductor structures. Semiconductors. 2007;41: 411–413. https://doi.org/10.1134/s1063782607040094

Опубликован
2023-10-12
Как цитировать
Резник, Р. Р., Гридчин, В. О., Котляр, К. П., Неплох, В. В., Осипов, А. В., Кукушкин, С. А., Saket, O., Tchernycheva, M., & Цырлин, Г. Э. (2023). Подтверждение методом картирования тока, наведенного электронным пучком, самопроизвольного легирования GaN нитевидных нанокристаллов из вицинальной подложки SiC/Si. Конденсированные среды и межфазные границы, 25(4), 526-531. https://doi.org/10.17308/kcmf.2023.25/11474
Раздел
Оригинальные статьи

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)