ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ КОМПОНЕНТОВ В ДВУХСЛОЙНОЙ ПЛЕНОЧНОЙ СИСТЕМЕ Fe—TiO2, ПОЛУЧЕННОЙ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

  • Николай Николаевич Афонин
  • Вера Алексеевна Логачева
  • Виктор Матвеевич Вахтель
  • Юлия Александровна Киселева
  • Юрий Гаврилович Сёмов
Ключевые слова: магнетронное распыление, вакуумный отжиг, реакционная взаимодиффузия, фазообразование, сложные оксиды, пленочная система Fe-TiO2

Аннотация

Дифрактометрическое исследование in-situ фазовых превращений в двухслойной пленочной системе Fe-TiO2 в процессе нагрева-охлаждения в вакуумной камере при давлении Р=1.33·10-2 Па показало, что после магнетронного распыления железа образуется магнетит Fe3O4; в процессе изотермического отжига при Т=973 К формируется гетерофазная пленка, содержащая сложные оксиды: ильменит FeTiO3 ромбоэдрической структуры и ульвошпинель Fe2TiO4 кубической модификации.

Изучением распределения компонентов методом ВИМС установлено глубокое взаимопроникновение металлических компонентов системы Fe-TiO2. Предложен механизм формирования сложных оксидов, основанный на реакционной взаимодиффузии переходного металла Fe в оксид титана с формированием фаз сложных оксидов. Образование оксидов происходит не путем послойного роста на межфазной границе металл-оксид, а по всей толщине плёнки TiO2 на границе зерен.

Скачивания

Данные скачивания пока не доступны.
Опубликован
2016-10-02
Как цитировать
Афонин, Н. Н., Логачева, В. А., Вахтель, В. М., Киселева, Ю. А., & Сёмов, Ю. Г. (2016). ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ КОМПОНЕНТОВ В ДВУХСЛОЙНОЙ ПЛЕНОЧНОЙ СИСТЕМЕ Fe—TiO2, ПОЛУЧЕННОЙ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ. Конденсированные среды и межфазные границы, 18(3), 345-355. извлечено от https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/142
Выпуск
Том 18 № 3 (2016)
Раздел
Статьи

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)