ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКИХ СЛОЕВ ДИСУЛЬФИДА МОЛИБДЕНА MoS2 НА МЕТАЛЛИЧЕСКОМ МОЛИБДЕНЕ ПРИ РАЗНЫХ ТЕМПЕРАТУРАХ
Аннотация
В работе изучено влияние температуры на фазовый состав тонких слоев, образующихся на металлических пластинах молибдена при переносе паров серы газом-носителем аргоном из низкотемпературной в высокотемпературную зону реактора (двухтемпературный синтез). Результаты исследования методами рентгеновской дифракции и сканирующей электронной микроскопии образцов дисульфидов молибдена MоS2, полученных на металлических пластинах молибдена при различных температурах, показывают, что при высоких температурах синтеза в интервале 800-1000 °C на пластинах молибдена образуются дисульфиды молибдена разных модификаций/политипов: гексагональной Р63/mmc при 800 °C и ромбоэдрической (тригональной) R3m при 1000 °C. При температуре 1000 °C происходит формирование микрокристаллов MоS2 с огранкой, соответствующей ромбоэдрической фазе R3m.
Работа выполнена при поддержке Минобрнауки России в рамках государственного задания ВУЗам в сфере научной деятельности на 2017-2019 годы. Проекты № 3.6263.2017/ВУ и № 16.8158.2017/8.9.
Скачивания
Литература
2. Bhupendra Mor, Madhvi Dave, Vidhi Raval. International Journal on Recent and Innovation Trends in Computing and Communication ISSN: 2321-8169, 2014, vol. 2, no. 11, p. 3578-3582. Available at: http://www.ijritcc.org/download/1418296204.pdf
3. Mishina E. D., Sherstyuk N. E., Shestakova A. P., Lavrov S. D., Semin S. Sigov S. V., Mitioglu A., Angel S., Kulyuk L. Semiconductors, 2015, vol. 49, no. 6, pp. 791-796. DOI: 10.1134/S1063782615060159
4. Shestakova A. P., Lavrov S. D., Mishina E. D. Materialy Mezhdunarodnoi nauchno-tekhnicheskoi konferentsii [Proc. of the International Scientific and Technical Conference. December 1 - 5, 2015 Moscow, INTERMATIC, part 1]. 2015, MIREA, pp. 107-110.
5. CPDS - International Center for Diffraction Data. 2012, no. 00-004-0809.
6. CPDS - International Center for Diffraction Data. 2012, no. 00-006-0097.
7. CPDS - International Center for Diffraction Data. 2012, no. 00-017-0744.
8. CPDS - International Center for Diffraction Data. 2012, no. 00-005-508 MoO3.
9. Qingqing Ji, Yanfeng Zhang, Teng Gao, Zhang Yu, Donglin Ma, Mengxi Liu, Yubin Chen, Xiaofen Qiao, Ping-Heng Tan, Min Kan, Ji Feng, Qiang Sun, Zhongfan Liu. Nano Letters, 2013, vol .13, no. 8, pp. 3870-3877. DOI: 10.1021/nl401938t