ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ КОБАЛЬТА И ТИТАНА С ТОНКИМИ ПЛЕНКАМИ ИХ ОКСИДОВ В ПРОЦЕССЕ ВАКУУМНОГО ОТЖИГА
Ключевые слова:
тонкие пленки, магнетронное распыление, вакуумный отжиг, диффузия, концентрационные распределения, оксиды титана и кобальта.
Аннотация
Исследованы пленочные системы кобальт — оксид титана и титан — оксид кобальта (толщиной ~ 200 нм), полученные магнетронным распылением металлов на кремниевую подложку с последующим термическим отжигом. Методами РОР, РФА и РЭМ установлено,
что при вакуумном отжиге системы Co-TiO2 диффузия кобальта в оксид титана носит реакционный характер и сопровождается встречной диффузией титана. При отжиге системы Ti-CoO титан проникает в оксид кобальта с формированием верхнего слоя сложного оксида CoTiO3
кубической структуры.
Скачивания
Данные скачивания пока не доступны.
Литература
1. Стогний А. И., Пашкевич М. В., Новицкий Н. Н. и др. // Письма в Ж ТФ. 2010. Т. 36. Вып. 9. С. 73—81.
2. Liu F., Ding P., Shi W. et al. // Chinese Journal of Aeronautics. 2007. V. 20. № 2. P. 162—167.
3. Domaradzki J., Borkowsk A., Kaczmarek D. et al. // J. of Non-Crystalline Solids. 2006. V. 352. № 23—25. P. 2324—2327.
4. Matsumoto Y., Murakami M., Shono T. et al. // Science. 2001. V. 291. P. 854.
5. Pack W. K., Ortega-Hertogs R. J., Moodera J. S. et al. // J. Appl. Phys. 2002. V. 91. № 10. P. 8093—8095.
6. Chambers S. A., Thevuthasan S., Farrow R. F. C. et al. // Appl. Phys. Lett. 2001. V. 79. P. 3467.
7. Kim J. Y., Park J.— H., Park B.— G. et al. // Phys. Rev. Lett. 2003. V. 90. P. 017401.
8. Shinde S. R., Ogale S. B., Das Sarma S. et al. // Phys Rev. B. 2003. V. 67. P. 115211.
9. Kim D. H., Yang J. S., Lee K. W. et al. // Appl. Phys. Lett. 2002. V. 81. P. 2421.
10. Soo Y. L., Kioseoglou G., Kim S. et al. // Appl.Phys. Lett. 2002. V. 81. P. 655—657.
11. Gemming S., Janisch R., Schreiber M. et al. // Phys. Rev. B. 2007. V. 76. P. 045204.
12. Hoa Hong Nguyena, Prellier W., Sakai Joe et al. // J. Appl. Phys. 2004. V. 95. № 11. P. 7378—7380.
13. Комаров Ф. Ф. Неразрушающий анализ поверхностей твердых тел ионными пучками. Минск.: Университетское, 1987. 256 с.
14. Вахтель В. М., Афонин Н. Н., Логачева В. А. и др. // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2008. Т. 74. № 7. С. 33—36.
15. Sandrik R., Kobzev A. P., Shirokov D. V., et al. // Nuclear Instruments Methods in Physics Research B. 1993. V. 75. P. 392—396.
2. Liu F., Ding P., Shi W. et al. // Chinese Journal of Aeronautics. 2007. V. 20. № 2. P. 162—167.
3. Domaradzki J., Borkowsk A., Kaczmarek D. et al. // J. of Non-Crystalline Solids. 2006. V. 352. № 23—25. P. 2324—2327.
4. Matsumoto Y., Murakami M., Shono T. et al. // Science. 2001. V. 291. P. 854.
5. Pack W. K., Ortega-Hertogs R. J., Moodera J. S. et al. // J. Appl. Phys. 2002. V. 91. № 10. P. 8093—8095.
6. Chambers S. A., Thevuthasan S., Farrow R. F. C. et al. // Appl. Phys. Lett. 2001. V. 79. P. 3467.
7. Kim J. Y., Park J.— H., Park B.— G. et al. // Phys. Rev. Lett. 2003. V. 90. P. 017401.
8. Shinde S. R., Ogale S. B., Das Sarma S. et al. // Phys Rev. B. 2003. V. 67. P. 115211.
9. Kim D. H., Yang J. S., Lee K. W. et al. // Appl. Phys. Lett. 2002. V. 81. P. 2421.
10. Soo Y. L., Kioseoglou G., Kim S. et al. // Appl.Phys. Lett. 2002. V. 81. P. 655—657.
11. Gemming S., Janisch R., Schreiber M. et al. // Phys. Rev. B. 2007. V. 76. P. 045204.
12. Hoa Hong Nguyena, Prellier W., Sakai Joe et al. // J. Appl. Phys. 2004. V. 95. № 11. P. 7378—7380.
13. Комаров Ф. Ф. Неразрушающий анализ поверхностей твердых тел ионными пучками. Минск.: Университетское, 1987. 256 с.
14. Вахтель В. М., Афонин Н. Н., Логачева В. А. и др. // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2008. Т. 74. № 7. С. 33—36.
15. Sandrik R., Kobzev A. P., Shirokov D. V., et al. // Nuclear Instruments Methods in Physics Research B. 1993. V. 75. P. 392—396.
Опубликован
2013-09-27
Как цитировать
Afonin, N. N., Logachova, V. A., Gerasimenko, Y. V., Dolgopolova, E. A., & Khoviv, A. M. (2013). ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ КОБАЛЬТА И ТИТАНА С ТОНКИМИ ПЛЕНКАМИ ИХ ОКСИДОВ В ПРОЦЕССЕ ВАКУУМНОГО ОТЖИГА. Конденсированные среды и межфазные границы, 15(3), 232-237. извлечено от https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/902
Выпуск
Раздел
Статьи
