СТРУКТУРА И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПЛЕНОК ОКСИДОВ ВАНАДИЯ НА КРЕМНИИ, ПОЛУЧЕННЫХ ЗОЛЬ-ГЕЛЬ МЕТОДОМ

Evgenie A. Tutov; Dmitry A. Vinichenko; Evgenie E. Tutov; H.I. Al-Khafaji; Nina A. Rumyantseva; Vladimir P. Zlomanov

Authors

Evgenie A. Tutov grand PhD (chemistry sciences), associated professor of solid state physics and nanostuctures chair, Voronezh State University; tel.: (4732) 208363, e-mail: tutov_ea@mail.ru
Dmitry A. Vinichenko student, Moscow State University
Evgenie E. Tutov PhD, senior scientifi c employee, «Concern «Sozvezdie”, Voronezh
H.I. Al-Khafaji master student of solid state physics and nanostuctures chair, Voronezh State University
Nina A. Rumyantseva leading engineer of solid state physics and nanostuctures chair, Voronezh State University
Vladimir P. Zlomanov grand PhD (chemistry sciences), professor, Moscow State University

Keywords:

пленки оксидов ванадия, золь-гель метод, фазообразование, вольт-фарадные характеристики, фотоемкостный эффект.

Abstract

Высокоупорядоченные пленки оксидов ванадия с металлическим и полупроводниковым характером проводимости на подложках монокристаллического кремния с термическим слоем диоксида кремния и без него синтезированы золь-гель методом из растворов
триэтоксиванадила VO(OEt)3 в новом растворителе — метилцеллозольве СН3ОСН2СН2ОН. Измерены высокочастотные вольт-фарадные характеристики полученных МОП структур. Исследовано влияние освещения на их электрическую емкость.