THE MUTUAL DIFFUSION OF IRON AND COPPER IN THIN FILMS AND PHASE COMPOSITION OF THEIR AFTER CONSISTENT SPUTTERING
Keywords:
железо, медь, пленка, структура.Abstract
Изучен фазовый состав одно- и двухкомпонентных пленок системы «железо-медь» на кремниевой подложке. Получено и сопоставлено распределение концентраций элементов по глубине двухслойных пленок двух типов: тонкий слой меди на поверхности железной
пленки и тонкий слой железа на поверхности медной. Выявлено развитие диффузии атомов железа из нижнего слоя в верхний с вытеснением атомов меди.
Downloads
Download data is not yet available.
References
Downloads
Published
2010-02-22
Issue
Section
Статьи
How to Cite
THE MUTUAL DIFFUSION OF IRON AND COPPER IN THIN FILMS AND PHASE COMPOSITION OF THEIR AFTER CONSISTENT SPUTTERING. (2010). Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 12(1), 61-65. https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/1098
