STUDY OF SURFACE MORPHOLOGY Ti-Nb OXIDIZED FILMS
Keywords:
тонкие пленки, магнетронное распыление, морфология поверхности, оксидсодержащие структуры.Abstract
Изучено влияние концентрации Nb на морфологию поверхности оксидированных
пленок системы Ti-Nb, полученных методом магнетронного распыления металлических ми-
шеней. Формирование металлических пленок осуществлялось в среде аргона в вакуумной
установке двумя неравномощными магнетронными источниками. Соотношение Ti и Nb в об-
разцах, установленное с помощью энергодисперсионного анализа, составило соответственно:
89:11, 80:20, 74:26, 47:53, 23:77 ат. %. Морфология поверхности металлических пленок после
отжига в атмосфере кислорода при 1073 К значительно различается, как по однородности
пленок, так и по толщине получаемых оксидных структур, и зависит от концентрации Nb
в полученных металлических образцах.
Downloads
Download data is not yet available.
References
Downloads
Published
2014-06-22
Issue
Section
Статьи
How to Cite
STUDY OF SURFACE MORPHOLOGY Ti-Nb OXIDIZED FILMS. (2014). Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 16(2), 163-167. https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/821
