СТРУКТУРА И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПЛЕНОК ОКСИДОВ ВАНАДИЯ НА КРЕМНИИ, ПОЛУЧЕННЫХ ЗОЛЬ-ГЕЛЬ МЕТОДОМ

Evgenie A. Tutov; Dmitry A. Vinichenko; Evgenie E. Tutov; H.I. Al-Khafaji; Nina A. Rumyantseva; Vladimir P. Zlomanov

Авторы

Evgenie A. Tutov Тутов Евгений Анатольевич — д.х.н., доцент кафедры физики твердого тела и наноструктур, Воронежский государственный университет; тел.: (4732) 208363, email: tutov_ea@mail.ru
Dmitry A. Vinichenko Виниченко Дмитрий Александрович — студент химического факультета, Московский государственный университет
Evgenie E. Tutov Тутов Евгений Евгеньевич — к.ф.-м.н., с.н.с., ОАО «Концерн «Созвездие», Воронеж
H.I. Al-Khafaji Аль-Кафаджи Хусам Имад — магистрант кафедры физики твердого тела и наноструктур, Воронежский государственный университет
Nina A. Rumyantseva Румянцева Нина Анатольевна — ведущий инженер кафедры физики твердого тела и наноструктур, Воронежский государственный университет
Vladimir P. Zlomanov Зломанов Владимир Павлович — д.х.н., профессор химического факультета, Московский государственный университет

Ключевые слова:

пленки оксидов ванадия, золь-гель метод, фазообразование, вольт-фарадные характеристики, фотоемкостный эффект.

Аннотация

Высокоупорядоченные пленки оксидов ванадия с металлическим и полупроводниковым характером проводимости на подложках монокристаллического кремния с термическим слоем диоксида кремния и без него синтезированы золь-гель методом из растворов
триэтоксиванадила VO(OEt)3 в новом растворителе — метилцеллозольве СН3ОСН2СН2ОН. Измерены высокочастотные вольт-фарадные характеристики полученных МОП структур. Исследовано влияние освещения на их электрическую емкость.