ВЗАИМОПРОНИКНОВЕНИЕ ЖЕЛЕЗА И МЕДИ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ И ИХ ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПРИ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОМ НАПЫЛЕНИИ

Sergey N. Saltykov; Alexander M. Khoviv

Авторы

Sergey N. Saltykov Салтыков Сергей Николаевич — к.х.н, докторант Воронежского государственного университета, доцент кафедры химии Липецкого государственного технического университета; тел.: (4732) 276303; e-mail: saltsn@ lipetsk.ru
Alexander M. Khoviv Ховив Александр Михайлович — д.ф.-м.н., д.х.н., профессор, первый проректор, Воронежский государственный университет; тел.: (4732) 208869; e-mail: khoviv@vsu.ru

Ключевые слова:

железо, медь, пленка, структура.

Аннотация

Изучен фазовый состав одно- и двухкомпонентных пленок системы «железо-медь» на кремниевой подложке. Получено и сопоставлено распределение концентраций элементов по глубине двухслойных пленок двух типов: тонкий слой меди на поверхности железной
пленки и тонкий слой железа на поверхности медной. Выявлено развитие диффузии атомов железа из нижнего слоя в верхний с вытеснением атомов меди.