ИССЛЕДОВАНИЯ ГЕТЕРОФАЗНЫХ СТРУКТУР AlN/GaAs(100) ДИФРАКЦИОННЫМИ И СПЕКТРОСКОПИЧЕСКИМИ МЕТОДАМИ

Авторы

  • Халид Махди Таджил Аль Аридх
  • Павел Владимирович Середин
  • Вера Евгеньевна Терновая
  • Дмитрий Леонидович Голощапов
  • Анатолий Николаевич Лукин
  • Александр Викторович Федюкин
  • Иван Никитич Арсентьев
  • Александр Дмитриевич Бондарев
  • Ярослав Валерьевич Лубянский

Ключевые слова:

нитрид алюминия, реактивное ионно-плазменное распыление, арсенид галлия

Аннотация

Методами структурного анализа и оптической спектроскопии были исследованы свойства наноструктурированных пленок нитрида алюминия, полученных методом реактивного ионно-плазменного распыления на подложках GaAs. Показано, что управление морфологией, составом поверхности и оптическими функциональными характеристиками гетерофазных систем AlN/GaAs(100) может быть достигнуто за счет использования подложек GaAs(100) с отклонением 4° к [110].

Скачивания

Данные по скачиваниям пока не доступны.

Библиографические ссылки

Загрузки

Опубликован

2016-06-09

Выпуск

Раздел

Статьи

Как цитировать

ИССЛЕДОВАНИЯ ГЕТЕРОФАЗНЫХ СТРУКТУР AlN/GaAs(100) ДИФРАКЦИОННЫМИ И СПЕКТРОСКОПИЧЕСКИМИ МЕТОДАМИ. (2016). Конденсированные среды и межфазные границы, 18(2), 275-283. https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/134

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)

1 2 > >>