ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ ОКСИДИРОВАННЫХ ПЛЕНОК СИСТЕМ Ti-Nb

Sergey V. Zaitcev; Mihail V. Lobanov; Yuliya V. Gerasimenko; Aleksander M. Khoviv

Авторы

Sergey V. Zaitcev
Mihail V. Lobanov
Yuliya V. Gerasimenko
Aleksander M. Khoviv

Ключевые слова:

тонкие пленки, магнетронное распыление, морфология поверхности, оксидсодержащие структуры.

Аннотация

Изучено влияние концентрации Nb на морфологию поверхности оксидированных
пленок системы Ti-Nb, полученных методом магнетронного распыления металлических ми-
шеней. Формирование металлических пленок осуществлялось в среде аргона в вакуумной
установке двумя неравномощными магнетронными источниками. Соотношение Ti и Nb в об-
разцах, установленное с помощью энергодисперсионного анализа, составило соответственно:
89:11, 80:20, 74:26, 47:53, 23:77 ат. %. Морфология поверхности металлических пленок после
отжига в атмосфере кислорода при 1073 К значительно различается, как по однородности
пленок, так и по толщине получаемых оксидных структур, и зависит от концентрации Nb
в полученных металлических образцах.

Скачивания

Данные по скачиваниям пока не доступны.

Биографии авторов

Sergey V. Zaitcev

Зайцев Сергей Витальевич — к. х. н., начальник отдела ОАО «НИИПМ»; тел.: (473) 2230457, e-mail:
zaytsev@vsu.ru
Mihail V. Lobanov

Лобанов Михаил Викторович — зам. начальника отдела ОАО «НИИПМ»; тел.: (473) 2230457, e-mail:
misha_lobanoff@mail.ru
Yuliya V. Gerasimenko

Герасименко Юлия Владимировна — к. ф.‑ м. н., директор управления ОАО НИИПМ; тел.: (473) 2502581,
e-mail: yuliya-gerasimenko@yandex.ru
Aleksander M. Khoviv

Ховив Александр Михайлович — д. ф.-м. н., д. х. н., профессор, Воронежский государственный университет; тел: (4732) 208445, e-mail: khoviv@vsu.ru