МОДЕЛИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОЛЕЙ ПРИ ЗОНДОВЫХ ИЗМЕРЕНИЯХ В АНИЗОТРОПНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛЕНКАХ

Vladimir V. Filippov; Arthur N. Vlasov; Evgeniy N. Bormontov

Авторы

Vladimir V. Filippov Филиппов Владимир Владимирович — к.ф-мат.н., доцент, Липецкий государственный педагогический университет; тел.: (4742) 328385, e-mail: wwfi lippow@ mail.ru
Arthur N. Vlasov Власов Артур Николаевич — аспирант, Липецкий государственный педагогический университет; тел.: (4742) 328385, e-mail: wlasow4887@yandex.ru
Evgeniy N. Bormontov Бормонтов Евгений Николаевич — д.ф.-мат.н., профессор, заведующий кафедрой физики полупроводников и микроэлектроники, Воронежский государственный университет; тел.: (473) 220-8633, e-mail: PlPhys@main. vsu.ru

Ключевые слова:

анизотропный полупроводник, пленка, распределение потенциала, электро- проводность, сопротивления растекания, зонд.

Аннотация

Выполнено исследование распределения потенциала электрического тока в случае зондовых измерений на анизотропных полупроводниковых пластинах и пленках. Получены выражения для распределений потенциала, позволяющие определять область локализации поля зонда сканирующего микроскопа в случае исследования анизотропной пленки. Показано влияние размеров и электропроводности на изменение сопротивления растекания зонда в ограниченных пленках.