МОДЕЛИРОВАНИЕ ДЕФОРМАЦИЙ И ЗОННОЙ ДИАГРАММЫ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ КРЕМНИЙ — ГЕРМАНИЙ

Vladimir V. Filippov; Arthur N. Vlasov; Evgeniy N. Bormontov

Authors

Vladimir V. Filippov associate professor, Lipetsk State Pedagogical University, tel.: (4742) 328385, e-mail: wwfi lippow@mail.ru
Arthur N. Vlasov the post graduate student, Lipetsk State Pedagogical University, tel.: (4742) 328383, e-mail: wlasow_a_n@mail.ru
Evgeniy N. Bormontov the professor, Voronezh State University, tel.: (4732) 208633, e-mail: me144@phys.vsu. ru

Keywords:

напряженная гетероструктура, кремний, германий, деформация, зонная диаграмма.

Abstract

Предложена модель деформаций в напряженной полупроводниковой структуре, состоящей из произвольного числа слоев кремния и германия. Рассчитаны относительные деформации в слоях Si и Ge и их зависимости от отношения толщин контактирующих полупроводников. Исследовано влияние деформации и соотношения толщин композиционных слоев на основные параметры энергетической зонной диаграммы гетероперехода кремний-германий.