METHODS OF MEASUREMENT OF ANISOTROPIC ELECTRICAL CONDUCTIVITY OF SEMICONDUCTOR WAFERS AND FILMS

  • Vladimir V. Filippov Cand. Sci. (Phys.-Math.), Associate Professor, Head of the Physics Department, Lipetsk State Pedagogical University; tel.: (4742) 328385, e-mail: wwfilippow@mail.ru
  • Nikolay N. Polyakov Dr. Sci. (Phys.-Math.), Professor of the Physics Department, Lipetsk State Pedagogical University, tel.: (4742) 328385, e-mail: nnpolakov@mail.ru
  • Evgeniy N. Bormontov Dr. Sci. (Phys.-Math.), Professor, Head of the Physic of Semiconductor and Microelectronics Department, Voronezh State University, tel.: (473) -2208633, e-mail: me144@phys.vsu.ru

Abstract

Представлен быстрый способ определения компонент тензора удельной электропроводности тонких полупроводниковых пластин на основе известного четырехзондового метода. Предложенный метод теоретически обоснован путем решения соответствующих
краевых задач электродинамики, отличается простотой измерений и расчётов, не требует применения сложной аппаратуры, выполнен учет граничных условий.

Downloads

Download data is not yet available.

References

1. Батавин B. В., Концевой Ю. А., Федорович Ю. В. Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур. М.: Радио и связь, 1985.
2. Павлов Л. П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов. М.: Высшая школа, 1987.
3. Маренкин С. Ф., Трухан В. М. Фосфиды, арсениды цинка и кадмия. Минск: Вараскин, 2010.
4. Снарский А. А., Пальти А. М., Ащеулов А. А. // ФТП. 1997. Т. 31. № 11. С. 1281.
5. Неизвестный И. Г., Гридчин В. А. // Микроэлектроника. 2009. Т. 38. № 2. С. 88.
6. Баранский П. И., Клочков В. П., Потыкевич И. В. Полупроводниковая электроника. Киев: Наукова думка, 1975.
7. Ландау Л. Д., Лифшиц Е. М. Электродинамика сплошных сред. М.: Наука, 1982. С. 130.
8. Прудников А. П., Брычков Ю. А., Маричев О. И. Интегралы и ряды. Элементарные функции. М.: Наука, 1981. Т. 1. С. 730.
9. Градштейн И. С., Рыжик И. М. Таблицы интегралов, сумм, рядов и произведений. М.: Наука, 1971. С. 54.
Published
2013-09-27
How to Cite
Filippov, V. V., Polyakov, N. N., & Bormontov, E. N. (2013). METHODS OF MEASUREMENT OF ANISOTROPIC ELECTRICAL CONDUCTIVITY OF SEMICONDUCTOR WAFERS AND FILMS. Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 15(3), 357-360. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/920
Section
Статьи