METHODS OF DETERMINING THE ELECTRICAL CONDUCTIVITY OF INHOMOGENEOUS SEMICONDUCTOR FILMS IN DEPTH
Abstract
Предложена методика измерения электропроводности неоднородных по глубине полупроводниковых структур. Рассмотрены практически важные случаи, когда электропроводимость в пленке изменяется с глубиной по экспоненциальному закону, а также описывается функцией распределения Гаусса. Теоретическое обоснование произведено путем решения краевых задач электродинамики с соответствующими граничными условиями.
Downloads
Download data is not yet available.
References
1. Рабаи Ж. М., Чандракасан А., Николич Б. Цифровые интегральные схемы. Методология проектирования. М.: Вильямс, 2007. 912 с.
2. Таиров Ю. М., Цветков В. Ф. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов. СПб.: Лань, 2002. 424 с.
3. Тилл У., Лаксон Дж. Интегральные схемы: Материалы, приборы, изготовление. М.: Мир, 1985. 501 c.
4. Соколов И. А. Расчеты процессов полупроводниковой технологии. М.: Металлургия, 1994. 176 с.
5. Ландау Л. Д., Лифшиц Е. М. Электродинамика сплошных сред. М.: Физматлит, 2003. 656 с.
6. Янке Е., Эмде Ф., Леш Ф. Специальные функции. М.: Наука, 1968. 344 с.
7. Дьяконов В. П. Mathcad 11/12/13 в математике. М.: Горячая линия-Телеком, 2007. 960 c.
8. Дьяконов В. П. Mathematica 5.1/5.2/6 в математических и научно-технических расчетах. М.: СОЛОН-Пресс, 2008. 744 с.
9. Лузянин С. Е., Поляков Н. Н., Филиппов В. В. // Радиолокация, навигация, связь. Материалы XV международной конференции. Воронеж: ВГУ, 2011. Т. 1. С. 818—823.
10. Павлов Л. П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов. М.: Высшая школа, 1987. 240 с.
2. Таиров Ю. М., Цветков В. Ф. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов. СПб.: Лань, 2002. 424 с.
3. Тилл У., Лаксон Дж. Интегральные схемы: Материалы, приборы, изготовление. М.: Мир, 1985. 501 c.
4. Соколов И. А. Расчеты процессов полупроводниковой технологии. М.: Металлургия, 1994. 176 с.
5. Ландау Л. Д., Лифшиц Е. М. Электродинамика сплошных сред. М.: Физматлит, 2003. 656 с.
6. Янке Е., Эмде Ф., Леш Ф. Специальные функции. М.: Наука, 1968. 344 с.
7. Дьяконов В. П. Mathcad 11/12/13 в математике. М.: Горячая линия-Телеком, 2007. 960 c.
8. Дьяконов В. П. Mathematica 5.1/5.2/6 в математических и научно-технических расчетах. М.: СОЛОН-Пресс, 2008. 744 с.
9. Лузянин С. Е., Поляков Н. Н., Филиппов В. В. // Радиолокация, навигация, связь. Материалы XV международной конференции. Воронеж: ВГУ, 2011. Т. 1. С. 818—823.
10. Павлов Л. П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов. М.: Высшая школа, 1987. 240 с.
Published
2012-09-25
How to Cite
Filippov, V. V., Lusyanin, S. E., & Bormontov, E. N. (2012). METHODS OF DETERMINING THE ELECTRICAL CONDUCTIVITY OF INHOMOGENEOUS SEMICONDUCTOR FILMS IN DEPTH. Condensed Matter and Interphases, 14(3), 338-341. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/989
Issue
Section
Статьи
