FEATURES OF CHEMICAL STIMULATING THERMAL OXIDATION OF INDIUM PHOSPHIDE DEPENDING ON THE METHOD OF DEPOSITION OF V2O5 CHEMOSTIMULATOR ON THE SEMICONDUCTOR SURFACE
Abstract
Установлено, что реализация каталитического либо транзитного механизма хемостимулирующего действия V2O5, нанесенного на поверхность InP, определяется методом формирования оксидируемой структуры — жестким или мягким. Жесткие методы — магнетронное распыление и электрический взрыв проводника — способствуют протеканию процесса оксидирования по каталитическому механизму. Мягкий метод модифицирования гелем V2O5 определяет транзитный механизм хемостимулированного оксидирования. Максимальная степень блокировки диффузии неокисленного индия в пленку достигается при использовании
жесткого метода нанесения хемостимулятора на поверхность полупроводника — магнетронного распыления.
Downloads
Download data is not yet available.
References
1. Лапенко А. А., Лисицын С. В., Томина Е. В. и др. // Неорган. материалы. 2008. Т. 44. № 11. С. 1293―1299 (Lapenko A. A., Lisitsyn S. V., Tomina E. V. et al. // Inorganic Materials. 2008. V. 44. № 11. P. 1163—1168).
2. Mittova I. Ya., Tomina E. V., Samsonov A. A. et al. // Inorganic Materials. 2005. Т. 41. № 4. С. 323―330.
3. Mittova I. Ya., Tomina E. V., Lapenko A. A. et al. // Inorganic Materials. 2004. Т. 40. № 5. С. 441―444.
4. Beke S. // Thin Solid Films. 2011. V. 519. P. 1761―1771.
5. Кузьмичев А. И. Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления. К.: Аверс, 2008. 244 с.
6. Ильин А. П., Назаренко О. Б. // Изв. вузов. Химия и хим. технология. 2008. Т. 51. Вып. 7. С. 61―64.
7. Mandouh El Z. S., Selim M. S. // Thin Solid Films. 2000. V. 37. № 1. P. 259―263.
8. Миттова И. Я., Томина Е. В., Лапенко А. А. и др. // Неорган. материалы. 2010. Т. 46. № 4. С. 441―446
(Mittova I. Ya., Tomina E. V., Lapenko A. A. et al. // Inorganic Materials. 2010. V. 46. № 4. P. 383―388).
9. Сладкопевцев Б. В., Миттова И. Я., Томина Е. В. и др. // Неорган. материалы. 2012. Т. 48. № 2. С. 205―212
(Sladkopevtsev B. V., Mittova I. Ya., Tomina E. V. et al. // Inorganic Materials. 2012. V. 48. № 2. P. 161―168).
10. Миттова И. Я., Швец В. А., Томина Е. В. и др. // Неорган. материалы. 2013. Т. 49. № 2. С. 173―179
(Mittova I. Ya., Shvets V A., Tomina E. V. et al. // Inorganic Materials. 2013. V. 49. № 2. P. 179―184).
11. Hollinger G., Веrgibnat Е., Joseph J. // Jnl. Vас. Sеt. Technol. 1985. V. А3. Р. 2082.
12. Миттова И. Я., Свиридова В. В., Семенов В. Н. // Изв. АН СССР, сер. Неорган. материалы. 1991. Т. 27. № 12. С. 2491―2494.
13. Крылов О. В., Шуб Б. Р. Неравновесные процессы в катализе. М.: Химия, 1990. 284 с.
14. Миттова И. Я., Швец В. А., Томина Е. В. и др. // Неорганические материалы. 2013. Т. 49. № 10. С. 1037―1044 (Mittova I. Ya., Shvets V. A., Tomina E. V. et al. // Inorganic Materials. 2013. V. 49. № 10. P. 963―970).
15. Миттова И. Я., Томина Е. В., Лапенко А. А. и др. // Физика и химия стекла. 2011. Т. 37. № 2. С. 304―309 (Mittova I. Ya., Tomina E. V., Lapenko A. A. et al. // Glass Physics and Chemistry. 2011. V. 37. № 2. P. 230―234).
16. Миттова И. Я., Пшестанчик В. Р., Малышев О М. // Изв. АН СССР, сер. Неорган. материалы. 1992. Т. 28. № 5. С. 2041―2044.
17. Самсонов А. А., Миттова И. Я., Валюхов Д. П. и др. // Неорган. материалы. 2011. Т. 47. № 2. С. 138―145 (Samsonov A. A., Mittova I. Ya., Valyukhov D. P. et al. // Inorganic Materials. 2011. V. 47. № 2. P. 100―106).
18. Миттова И. Я., Сладкопевцев Б. В., Томина Е. В. и др. // Неорган. материалы. 2011. Т. 47. № 8. С. 901―906 (Mittova I. Ya., Sladkopevtsev B. V., Tomina E. V. et al. // Inorganic Materials. 2011. V. 47. № 8. P. 811―815.).
19. Третьяков Н. Н., Миттова И. Я., Чижов А. С. и др. // Журнал общей химии. 2013. Т. 83. № 8. С. 1360―1364 (Tret’yakov N.N., Mittova I. Ya., Chizhov A. S. et al. // Russian Journal of General Chemistry. 2013. V. 83. № 8. P. 1589―1593).
2. Mittova I. Ya., Tomina E. V., Samsonov A. A. et al. // Inorganic Materials. 2005. Т. 41. № 4. С. 323―330.
3. Mittova I. Ya., Tomina E. V., Lapenko A. A. et al. // Inorganic Materials. 2004. Т. 40. № 5. С. 441―444.
4. Beke S. // Thin Solid Films. 2011. V. 519. P. 1761―1771.
5. Кузьмичев А. И. Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления. К.: Аверс, 2008. 244 с.
6. Ильин А. П., Назаренко О. Б. // Изв. вузов. Химия и хим. технология. 2008. Т. 51. Вып. 7. С. 61―64.
7. Mandouh El Z. S., Selim M. S. // Thin Solid Films. 2000. V. 37. № 1. P. 259―263.
8. Миттова И. Я., Томина Е. В., Лапенко А. А. и др. // Неорган. материалы. 2010. Т. 46. № 4. С. 441―446
(Mittova I. Ya., Tomina E. V., Lapenko A. A. et al. // Inorganic Materials. 2010. V. 46. № 4. P. 383―388).
9. Сладкопевцев Б. В., Миттова И. Я., Томина Е. В. и др. // Неорган. материалы. 2012. Т. 48. № 2. С. 205―212
(Sladkopevtsev B. V., Mittova I. Ya., Tomina E. V. et al. // Inorganic Materials. 2012. V. 48. № 2. P. 161―168).
10. Миттова И. Я., Швец В. А., Томина Е. В. и др. // Неорган. материалы. 2013. Т. 49. № 2. С. 173―179
(Mittova I. Ya., Shvets V A., Tomina E. V. et al. // Inorganic Materials. 2013. V. 49. № 2. P. 179―184).
11. Hollinger G., Веrgibnat Е., Joseph J. // Jnl. Vас. Sеt. Technol. 1985. V. А3. Р. 2082.
12. Миттова И. Я., Свиридова В. В., Семенов В. Н. // Изв. АН СССР, сер. Неорган. материалы. 1991. Т. 27. № 12. С. 2491―2494.
13. Крылов О. В., Шуб Б. Р. Неравновесные процессы в катализе. М.: Химия, 1990. 284 с.
14. Миттова И. Я., Швец В. А., Томина Е. В. и др. // Неорганические материалы. 2013. Т. 49. № 10. С. 1037―1044 (Mittova I. Ya., Shvets V. A., Tomina E. V. et al. // Inorganic Materials. 2013. V. 49. № 10. P. 963―970).
15. Миттова И. Я., Томина Е. В., Лапенко А. А. и др. // Физика и химия стекла. 2011. Т. 37. № 2. С. 304―309 (Mittova I. Ya., Tomina E. V., Lapenko A. A. et al. // Glass Physics and Chemistry. 2011. V. 37. № 2. P. 230―234).
16. Миттова И. Я., Пшестанчик В. Р., Малышев О М. // Изв. АН СССР, сер. Неорган. материалы. 1992. Т. 28. № 5. С. 2041―2044.
17. Самсонов А. А., Миттова И. Я., Валюхов Д. П. и др. // Неорган. материалы. 2011. Т. 47. № 2. С. 138―145 (Samsonov A. A., Mittova I. Ya., Valyukhov D. P. et al. // Inorganic Materials. 2011. V. 47. № 2. P. 100―106).
18. Миттова И. Я., Сладкопевцев Б. В., Томина Е. В. и др. // Неорган. материалы. 2011. Т. 47. № 8. С. 901―906 (Mittova I. Ya., Sladkopevtsev B. V., Tomina E. V. et al. // Inorganic Materials. 2011. V. 47. № 8. P. 811―815.).
19. Третьяков Н. Н., Миттова И. Я., Чижов А. С. и др. // Журнал общей химии. 2013. Т. 83. № 8. С. 1360―1364 (Tret’yakov N.N., Mittova I. Ya., Chizhov A. S. et al. // Russian Journal of General Chemistry. 2013. V. 83. № 8. P. 1589―1593).
Published
2014-03-14
How to Cite
Mittova, I. Y., TominаE. V., Sladkopevtcev, B. V., & Samsonov, A. A. (2014). FEATURES OF CHEMICAL STIMULATING THERMAL OXIDATION OF INDIUM PHOSPHIDE DEPENDING ON THE METHOD OF DEPOSITION OF V2O5 CHEMOSTIMULATOR ON THE SEMICONDUCTOR SURFACE. Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 16(1), 60-66. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/805
Issue
Section
Статьи
