ОСОБЕННОСТИ ХЕМОСТИМУЛИРОВАННОГО ТЕРМООКСИДИРОВАНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ В ЗАВИСИМОСТИ ОТ МЕТОДА НАНЕСЕНИЯ ХЕМОСТИМУЛЯТОРА V2O5 НА ПОВЕРХНОСТЬ ПОЛУПРОВОДНИКА

Авторы

  • Irina Y. Mittova
  • Elena V. Tominа
  • Boris V. Sladkopevtcev
  • Alexey A.  Samsonov

Ключевые слова:

хемостимулированное оксидирование, фосфид индия, оксид ванадия (V), магнетронное распыление, электрический взрыв проводника.

Аннотация

Установлено, что реализация каталитического либо транзитного механизма хемостимулирующего действия V2O5, нанесенного на поверхность InP, определяется методом формирования оксидируемой структуры — жестким или мягким. Жесткие методы — магнетронное распыление и электрический взрыв проводника — способствуют протеканию процесса оксидирования по каталитическому механизму. Мягкий метод модифицирования гелем V2O5 определяет транзитный механизм хемостимулированного оксидирования. Максимальная степень блокировки диффузии неокисленного индия в пленку достигается при использовании
жесткого метода нанесения хемостимулятора на поверхность полупроводника — магнетронного распыления.

Скачивания

Данные по скачиваниям пока не доступны.

Биографии авторов

  • Irina Y. Mittova

    Миттова Ирина Яковлевна — д. х. н., профессор, профессор кафедры материаловедения и индустрии наносистем, Воронежский государственный университет;
    тел.: (473) 2208356, e-mail: imittova@mail.ru

  • Elena V. Tominа

    Томина Елена Викторовна — к. х. н., доцент, доцент кафедры материаловедения и индустрии наносистем,
    Воронежский государственный университет; тел.: (473)2208356, e-mail: tomina-e-v@yandex.ru

  • Boris V. Sladkopevtcev

    Сладкопевцев Борис Владимирович — к. х. н., преподаватель кафедры материаловедения и индустрии
    наносистем, Воронежский государственный университет; тел.: (473) 2208356, e-mail: dp-kmins@yandex.ru

  • Alexey A.  Samsonov

    Самсонов Алексей Алексеевич — ассистент кафедры материаловедения и индустрии наносистем, Воронежский государственный университет; тел.: (473) 2208356; тел.: (903) 6536485, e-mail: samsonjr@mail.ru

Библиографические ссылки

Загрузки

Опубликован

2014-03-14

Выпуск

Том 16 № 1 (2014)

Раздел

Статьи

Как цитировать

ОСОБЕННОСТИ ХЕМОСТИМУЛИРОВАННОГО ТЕРМООКСИДИРОВАНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ В ЗАВИСИМОСТИ ОТ МЕТОДА НАНЕСЕНИЯ ХЕМОСТИМУЛЯТОРА V2O5 НА ПОВЕРХНОСТЬ ПОЛУПРОВОДНИКА. (2014). Конденсированные среды и межфазные границы, 16(1), 60-66. https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/805

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)