ROLE OF ACTIVE CENTERS V2O5 IN THE OXIDATION PROCESS OF InP

  • Boris V. Sladkopevtcev the post-graduate student; Science of Materials and Industry of Nanosystems Department, Voronezh State University; tel.: (905) 6505334, email: sladkopevtcev@km.ru
  • Elena V. Tomina PhD (chemical sciences), associate professor, Science of Materials and Industry of Nanosystems Department, Voronezh State University; tel.: (473) 2208356, e-mail: inorg@chem.vsu.ru
  • Irina Ya. Mittova grand PhD (chemical sciences), professor, Science of Materials and Industry of Nanosystems Department, Voronezh State University; tel.: (473) 2208356, e-mail: inorg@chem.vsu.ru

Abstract

Методом электровзрыва проводника сформированы наноостровковые структуры (V2O5)InP. Установлено влияние условий электровзрывного синтеза (расстояния между взрываемой проволокой и подложкой, длины проволоки, давления газа в системе) на характеристики полученных островков V2O5. Показано, что нанесенные на поверхность InP островки оксида ванадия выступают в роли активных центров в процессе термического окисления полупроводника при температурах 400, 500 и 550 °С. Максимальное увеличение скорости роста пленок на поверхности InP с островками по сравнению с собственным окислением проявляется на начальном (до 10 минут) этапе процесса. Изучена морфология поверхности полученных слоев на фосфиде индия.

Downloads

Download data is not yet available.

References

1. Бурцев В. А., Калинин Н. В., Лучинский А. В. Электрический взрыв проводников и его применение в электрофизических установках. М.: Энергоатомиздат, 1990. 288 с.
2. Лернер М. И., Давыдович В. И. и др. // Физическая мезомеханика. 2004. Т. 7. Специальный выпуск S2. С. 340—343.
3. Мутас И. Ю., Ильин А. П. // Известия Томского политехнического университета. 2004. Т. 307. № 4. С. 89—92.
4. Иванов В. Г., Гаврилюк О. В. // Физика горения и взрыва. 1999. Т. 35. № 6. С. 53—60.
5. Миттова И. Я. и др. // Неорганические материалы. 2010. Т. 46. № 4. С. 441—446.
6. Сангвал К. Травление кристаллов: Теория, эксперимент, применение. М.: Мир, 1990. С. 496.
7. Миттова И. Я. и др. // Неорганические материалы. 2005. Т. 41. № 3. С 1—5.
8. Миттова И. Я. и др. // Неорганические материалы. 2004. Т. 40. № 5. С 519—523.
9. Лапенко А. А. и др. // Неорганические материалы. 2008. Т. 44. № 11. С. 1293—1299.
10. Иевлев В. М., Миттова И. Я. и др. // Доклады РАН. 2007. Т. 417. № 4. С. 1—5.
Published
2011-03-10
How to Cite
Sladkopevtcev, B. V., Tomina, E. V., & Mittova, I. Y. (2011). ROLE OF ACTIVE CENTERS V2O5 IN THE OXIDATION PROCESS OF InP. Condensed Matter and Interphases, 13(1), 96-104. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/1027
Section
Статьи