ВЛИЯНИЕ БЫСТРОГО ТЕРМИЧЕСКОГО ОТЖИГА НА ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СТРУКТУР Ni/4H-SiC

Авторы

Юрий Алексеевич Юраков
Максим Игоревич Черных
Андрей Николаевич Цоцорин
Владимир Андреевич Кожевников
Сергей Владимирович Канныкин
Евгений Николаевич Бормонтов
Нина Анатольевна Румянцева

Ключевые слова:

карбид кремния, силициды никеля, омический контакт, рентгеновская дифрактометрия

Аннотация

Методом рентгеновской дифракции определён фазовый состав структур Ni/4H - SiC(001) после быстрого термического отжига в вакууме. Установлено одновременное образование гексагонального Ni₃₁Si₁₂ и орторомбического Ni₂Si силицидов никеля в интервале температур 900 – 1150 °С при длительности отжига от 30 до 180 с и дополнительно к указанным фазам орторомбического NiSi при температуре 1250 °С и длительности 60 с. Удельное контактное сопротивление снижалось при увеличении температуры и времени отжига.

Скачивания

Данные по скачиваниям пока не доступны.

Библиографические ссылки

Загрузки

pdf

Опубликован

2015-09-30

Выпуск

Том 17 № 3 (2015)

Раздел

Статьи

Как цитировать

ВЛИЯНИЕ БЫСТРОГО ТЕРМИЧЕСКОГО ОТЖИГА НА ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СТРУКТУР Ni/4H-SiC. (2015). Конденсированные среды и межфазные границы, 17(3), 384-391. https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/83

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)

Александр Сергеевич Леньшин, Анатолий Николаевич Лукин, Ярослав Анатольевич Пешков, Сергей Владимирович Канныкин, Борис Львович Агапов, Павел Владимирович Середин, Эвелина Павловна Домашевская, Особенности двухстадийного формирования структур макропористого и мезопористого кремния , Конденсированные среды и межфазные границы: Том 23 № 1 (2021)
Татьяна Павловна Сушкова, Галина Владимировна Семенова, Александра Васильевна Шевелюхина, Сергей Владимирович Канныкин, Елена Юрьевна Проскурина, Алексей Викторович Нерушев, Фазовые равновесия в системе Sn–As–Sb при концентрации олова менее 50 мол.% , Конденсированные среды и межфазные границы: Том 22 № 1 (2020)
Константин Александрович Барков, Владимир Андреевич Терехов, Дмитрий Николаевич Нестеров, Кирилл Евгеньевич Величко, Сергей Александрович Ивков, Никита Сергеевич Буйлов, Сергей Владимирович Канныкин, Игорь Евгеньевич Занин, Борис Львович Агапов, Сергей Владимирович Родивилов, Евгений Сергеевич Керсновский, Иван Васильевич Польшин, Станислав Викторович Рябцев, Маргарита Владимировна Гречкина, Александр Викторович Ситников, Формирование нанокристаллов серебра в композитных пленках Ag-Si, полученных ионно-лучевым распылением , Конденсированные среды и межфазные границы: Том 26 № 3 (2024)
Сергей Юрьевич Турищев, Владимир Андреевич Терехов, Александр Александрович Тонких, Николай Дмитриевич Захаров, Антон Витальевич Анисимов, Ольга Александровна Чувенкова, Юрий Алексеевич Юраков, Елена Владимировна Паринова, Дмитрий Анатольевич Коюда, Борис Владимирович Сеньковский, ЭЛЕКТРОННОЕ СТРОЕНИЕ И СУБСТРУКТУРА ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ НАНОСЛОЕВ ТВЕРДОГО РАСТВОРА КРЕМНИЙ-ОЛОВО НА КРЕМНИИ ПО ДАННЫМ СИНХРОТРОННЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ , Конденсированные среды и межфазные границы: Том 18 № 2 (2016)
Виктор Николаевич Семенов, Лариса Яковлевна Твердохлебова, Юрий Алексеевич Юраков, Евгений Григорьевич Гончаров, СТРУКТУРА, ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ Si1–xGex , Конденсированные среды и межфазные границы: Том 17 № 2 (2015)
Вероника Александровна Тяпкина, Андрей Витальевич Тучин, Лариса Александровна Битюцкая, Евгений Николаевич Бормонтов, ФУНКЦИОНАЛАИЗАЦИЯ ЗАКРЫТЫХ УЛЬТРАКОРОТКИХ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК (5, 5) , Конденсированные среды и межфазные границы: Том 18 № 4 (2016)
Александр Александрович Максименко, Валентин Михайлович Иевлев, Сергей Владимирович Канныкин, Евгений Константинович Белоногов, Мария Сергеевна Володина, Наталия Робертовна Рошан, СТРУКТУРА И МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА КОНДЕНСИРОВАННОЙ ФОЛЬГИ ТВЁРДОГО РАСТВОРА Pd-Cu , Конденсированные среды и межфазные границы: Том 18 № 4 (2016)
Лариса Александровна Битюцкая, Татьяна Валентиновна Куликова, Евгений Николаевич Бормонтов, ФОРМИРОВАНИЕ НАНОНИТЕЙ НА ПОВЕРХНОСТИ СФЕРОИДАЛЬНЫХ СТРУКТУР InSb ПРИ СПОНТАННОЙ КРИСТАЛЛИЗАЦИИ РАСПЛАВА , Конденсированные среды и межфазные границы: Том 18 № 4 (2016)
Екатерина Леонидовна Макарова, Дмитрий Алексеевич Жукалин, Максим Игоревич Черных, Лариса Александровна Битюцкая, Тамара Андреевна Ковалева, ФОРМИРОВАНИЕ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ БИОНАНОСТРУКТУР ГЛЮКОАМИЛАЗА-УНТ-SiO2-Si , Конденсированные среды и межфазные границы: Том 16 № 3 (2014)