МОДЕЛИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОЛЕЙ ПРИ ЗОНДОВЫХ ИЗМЕРЕНИЯХ В АНИЗОТРОПНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛЕНКАХ

Vladimir V. Filippov; Arthur N. Vlasov; Evgeniy N. Bormontov

Authors

Vladimir V. Filippov PhD (physical and mathematical sciences), associate professor, Lipetsk State Pedagogical University; tel.: (4742) 328385, e-mail: wwfi lippow@mail. ru
Arthur N. Vlasov the post graduate student, Lipetsk State Pedagogical University, tel.: (4742) 328385, e-mail: wlasow4887@yandex.ru
Evgeniy N. Bormontov grand PhD (physical and mathematical science), professor, head of physic of semiconductor and microelectronics chair, Voronezh State University; tel.: (473) 220-8633, e-mail: PlPhys@main.vsu.ru

Keywords:

анизотропный полупроводник, пленка, распределение потенциала, электро- проводность, сопротивления растекания, зонд.

Abstract

Выполнено исследование распределения потенциала электрического тока в случае зондовых измерений на анизотропных полупроводниковых пластинах и пленках. Получены выражения для распределений потенциала, позволяющие определять область локализации поля зонда сканирующего микроскопа в случае исследования анизотропной пленки. Показано влияние размеров и электропроводности на изменение сопротивления растекания зонда в ограниченных пленках.