ВЛИЯНИЕ ИМПЛАНТАЦИИ УГЛЕРОДА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК SiO2:NC-Si/Si ПО ДАННЫМ БЛИЖНЕЙ ТОНКОЙ СТРУКТУРЫ РЕНТГЕНОВСКОГО ПОГЛОЩЕНИЯ

Vladimir A. Terekhov; David I. Tetelbaum; Sergey Yu. Turishchev; Dmitry E. Spirin; Konstantin N. Pankov; Dmitriy N. Nesterov; Alexey N. Mikhaylov; Alexey I. Belov; Alexey V. Ershov

Authors

Vladimir A. Terekhov
David I. Tetelbaum
Sergey Yu. Turishchev
Dmitry E. Spirin
Konstantin N. Pankov
Dmitriy N. Nesterov
Alexey N. Mikhaylov
Alexey I. Belov
Alexey V. Ershov

Keywords:

спектроскопия ближней тонкой структуры рентгеновс кого поглощения, нанокристаллы кремния, тонкая структура спектров и фазовы й состав, инверсия тонкой структуры спектра квантового вы хода рентгеновс кого фотоэффекта.

Abstract

Методом спектроскопии ближней тонкой структуры рентгеновс кого поглощения (XANES) исс ледовано влияние ионной имплантации углерода в пленки SiOx/Si на их фазовы й состав. Обнаружена щественная перестройка тонкой структуры XANES после имплантации углерода, зависящая от ориентации подложки. Также проявляется тонкая структура, св язанная с образованием карбида кремния.

Downloads

Download data is not yet available.

Author Biographies

Vladimir A. Terekhov

grand PhD (Phys.-M ath.), profess or, Department of Solid State Physics and Nanostructures, Voronezh State University; tel.: (473) 2208363, e-mail: ftt@phys.vsu.ru
David I. Tetelbaum

grand PhD (Phys.-M ath.), professor, leading research scientist, Physico-Technical Research Ins titute of Lobachevsky State University of Nizhni Novgorod; tel.: (831) 4623188, e-mail: tetelbaum@phys. unn. ru
Sergey Yu. Turishchev

PhD (Phys.-M ath.), senior researcher, Department of Solid State Physics and nanostructures, Voronezh State University; tel.: (473) 2208363, e-mail: ftt@phys.vsu.ru
Dmitry E. Spirin

the postgraduate student, Department of Solid State Physics and nanostructures, Voronezh State University; tel.: (473) 2208363, e-mail: ftt@phys.vsu. ru
Konstantin N. Pankov

PhD (Phys.-M ath.), junior researcher, Department of Solid State Physics and nanostructures, Voronezh State University; tel.: (473) 2208363, e-mail: ftt@phys.vsu.ru
Dmitriy N. Nesterov

the postgraduate student, Department of Solid State Physics and nanostructures, Voronezh State University; tel.: (473) 2208363, e-mail: ftt@phys.vsu.ru
Alexey N. Mikhaylov

PhD (Phys.-M ath.), senior research scientist, Physico-Technical Research Ins titute of Lobachevsky State University of Nizhni Novgorod; tel.: (831) 4623188, e-mail: mian@nifti.unn. ru
Alexey I. Belov

PhD (Phys.-M ath.), junior researcher, Physico-Technical Research Ins titute of Lobachevsky State University of Nizhni Novgorod; tel.: (831) 4623188, e-mail: belov@nifti.unn. ru
Alexey V. Ershov

PhD (Phys. –Math.), a ociate profess or, Physico-Technical Research titute of Lobachevsky State University of Nizhni Novgorod; tel.: (831) 4623188, e-mail: ershov@phys. unn. ru