DEPENDENCE OF THE MECHANISM OF V2O5 CHEMOSTIMULATING ACTION FROM THE METHOD OF ITS INTRODUCTION INTO THE SYSTEM DURING INP THERMAL OXIDATION
Keywords:
хемостимулированное оксидирование, фосфид индия, оксид ванадия (V).Abstract
Установлена зависимость кинетических параметров и механизма хемостимулированного оксидирования фосфида индия от способа введения V2O5 в систему. Магнетронное напыление наноразмерных слоев оксида ванадия (V) в определенной мере «навязывает» про-
текание процесса по синхронному каталитическому механизму, поскольку сформированная граница раздела хемостимулятор — InP играет роль единого активного центра, на котором интенсивно развиваются взаимодействия V2O5 с компонентами подложки. Введение хемости-
мулятора через газовую фазу испарением из контейнера обеспечивает транзитный механизм оксидирования фосфида индия.
Downloads
Download data is not yet available.
References
Downloads
Published
2013-09-27
Issue
Section
Статьи
How to Cite
DEPENDENCE OF THE MECHANISM OF V2O5 CHEMOSTIMULATING ACTION FROM THE METHOD OF ITS INTRODUCTION INTO THE SYSTEM DURING INP THERMAL OXIDATION. (2013). Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 15(3), 305-311. https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/912
