МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОЙ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ АНИЗОТРОПНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН И ПЛЕНОК

Vladimir V. Filippov; Nikolay N. Polyakov; Evgeniy N. Bormontov

Authors

Vladimir V. Filippov Cand. Sci. (Phys.-Math.), Associate Professor, Head of the Physics Department, Lipetsk State Pedagogical University; tel.: (4742) 328385, e-mail: wwfilippow@mail.ru
Nikolay N. Polyakov Dr. Sci. (Phys.-Math.), Professor of the Physics Department, Lipetsk State Pedagogical University, tel.: (4742) 328385, e-mail: nnpolakov@mail.ru
Evgeniy N. Bormontov Dr. Sci. (Phys.-Math.), Professor, Head of the Physic of Semiconductor and Microelectronics Department, Voronezh State University, tel.: (473) -2208633, e-mail: me144@phys.vsu.ru

Keywords:

анизотропный полупроводник, пленка, распределение потенциала, электропроводность.

Abstract

Представлен быстрый способ определения компонент тензора удельной электропроводности тонких полупроводниковых пластин на основе известного четырехзондового метода. Предложенный метод теоретически обоснован путем решения соответствующих
краевых задач электродинамики, отличается простотой измерений и расчётов, не требует применения сложной аппаратуры, выполнен учет граничных условий.