METHODS OF DETERMINING THE ELECTRICAL CONDUCTIVITY OF INHOMOGENEOUS SEMICONDUCTOR FILMS IN DEPTH

Abstract

Предложена методика измерения электропроводности неоднородных по глубине полупроводниковых структур. Рассмотрены практически важные случаи, когда электропроводимость в пленке изменяется с глубиной по экспоненциальному закону, а также описывается функцией распределения Гаусса. Теоретическое обоснование произведено путем решения краевых задач электродинамики с соответствующими граничными условиями.