МОДЕЛИРОВАНИЕ ДЕФОРМАЦИЙ И ЗОННОЙ ДИАГРАММЫ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ КРЕМНИЙ — ГЕРМАНИЙ

Vladimir V. Filippov; Arthur N. Vlasov; Evgeniy N. Bormontov

Авторы

Vladimir V. Filippov Филиппов Владимир Владимирович — доцент Липецкого государственного педагогического университета, тел.: (4742) 328385, e-mail: wwfi lippow@mail.ru
Arthur N. Vlasov Власов Артур Николаевич — аспирант Липецкого государственного педагогического университета, тел.: (4742) 328383, e-mail: wlasow_a_n@mail.ru
Evgeniy N. Bormontov Бормонтов Евгений Николаевич — профессор Воронежского государственного университета, тел.: (4732) 208633, e-mail: me144@phys.vsu.ru

Ключевые слова:

напряженная гетероструктура, кремний, германий, деформация, зонная диаграмма.

Аннотация

Предложена модель деформаций в напряженной полупроводниковой структуре, состоящей из произвольного числа слоев кремния и германия. Рассчитаны относительные деформации в слоях Si и Ge и их зависимости от отношения толщин контактирующих полупроводников. Исследовано влияние деформации и соотношения толщин композиционных слоев на основные параметры энергетической зонной диаграммы гетероперехода кремний-германий.