ВЛИЯНИЕ ИМПЛАНТАЦИИ УГЛЕРОДА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК SiO2:NC-Si/Si ПО ДАННЫМ БЛИЖНЕЙ ТОНКОЙ СТРУКТУРЫ РЕНТГЕНОВСКОГО ПОГЛОЩЕНИЯ

Авторы

  • Vladimir A. Terekhov
  • David I. Tetelbaum
  • Sergey Yu. Turishchev
  • Dmitry E. Spirin
  • Konstantin N. Pankov
  • Dmitriy N. Nesterov
  • Alexey N. Mikhaylov
  • Alexey I. Belov
  • Alexey V. Ershov

Ключевые слова:

спектроскопия ближней тонкой структуры рентгеновс кого поглощения, нанокристаллы кремния, тонкая структура спектров и фазовы й состав, инверсия тонкой структуры спектра квантового вы хода рентгеновс кого фотоэффекта.

Аннотация

Методом спектроскопии ближней тонкой структуры рентгеновс кого поглощения (XANES) исс ледовано влияние ионной имплантации углерода в пленки SiOx/Si на их фазовы й состав. Обнаружена щественная перестройка тонкой структуры XANES после имплантации углерода, зависящая от ориентации подложки. Также проявляется тонкая структура, св язанная с образованием карбида кремния.

Скачивания

Данные по скачиваниям пока не доступны.

Биографии авторов

  • Vladimir A. Terekhov

    Терехов Владимир Андреевич — д. ф.- мат. н., професс ор, кафедра физики твердого тела и наноструктур, Воронежский госу дарственный университет; тел.: (473) 2208363, e-mail: ftt@phys.vsu.ru

  • David I. Tetelbaum

    Тетельбаум Давид Исаакович — д.ф.- мат.н., професс ор, н , Научно-и ледовательский физико- технический институт Нижегородского госу дарственного университета им. Н. И. Лобачевс кого; тел.: (831) 4623188, e-mail: tetelbaum@phys. unn. ru

  • Sergey Yu. Turishchev

    Турищев Сергей Юрьевич — к.ф.- мат.н., с. н.с. , кафедра физики твердого тела и наноструктур, Воронежский госу дарственный университет; тел.: (473) 2208363, e-mail: ftt@phys.vsu.ru

  • Dmitry E. Spirin

    Спирин Дмитрий Евгеньевич — аспирант, кафедра физики твердого тела и наноструктур, Воронежский госу дарственный университет; тел.: (473) 2208363, e- mail: ftt@phys.vsu.ru

  • Konstantin N. Pankov

    Панков Константин Николаевич — к. ф.- мат. н., м.н.с. , кафедра физики твердого тела и наноструктур, Воронежский госу дарственный университет; тел.: (473) 2208363, e-mail: ftt@phys.vsu.ru

  • Dmitriy N. Nesterov

    Нестеров Дмитрий Николаевич — аспирант, кафедра физики твердого тела и наноструктур, Воронежский госу дарственный университет; тел.: (473) 2208363, e- mail: ftt@phys.vsu.ru

  • Alexey N. Mikhaylov

    Михайлов Алексей Николаевич — к.ф.- мат.н., с. н.с. , Научно-исс ледовательский физико-технический институт Нижегородского госу дарственного университета им. Н. И. Лобачевс кого; тел.: (831) 4623188, e-mail: mian@nifti.unn .ru

  • Alexey I. Belov

    Белов Алексей Иванович — к.ф.- мат.н., м.н , Научно-исс ледовательский физико-технический институт Нижегородского госу дарственного университета им. Н И. Лобаче кого; тел.: (831) 4623188, e-mail: belov@nifti.unn. ru

  • Alexey V. Ershov

    Ершов Алексей Валентинович — к.ф.- мат.н., доцент, Научно-исс ледовательский физико-технический институт Нижегородского госу дарственного университета им. Н. И. Лобаче кого; тел.: (831) 4623188, e-mail: ershov@phys.unn .ru

Библиографические ссылки

Загрузки

Опубликован

2013-03-17

Выпуск

Том 15 № 1 (2013)

Раздел

Статьи

Как цитировать

ВЛИЯНИЕ ИМПЛАНТАЦИИ УГЛЕРОДА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК SiO2:NC-Si/Si ПО ДАННЫМ БЛИЖНЕЙ ТОНКОЙ СТРУКТУРЫ РЕНТГЕНОВСКОГО ПОГЛОЩЕНИЯ. (2013). Конденсированные среды и межфазные границы, 15(1), 48-53. https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/877

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)

1 2 3 > >>