ЗАВИСИМОСТЬ МЕХАНИЗМА ХЕМОСТИМУЛИРУЮЩЕГО ДЕЙСТВИЯ V2O5 ОТ СПОСОБА ВВЕДЕНИЯ ЕГО В СИСТЕМУ ПРИ ТЕРМООКСИДИРОВАНИИ InP

Irina Y. Mittova; Elena V. Tominа; Nikita N. Tretyakov; Boris V. Sladkopevtcev

Авторы

Irina Y. Mittova Миттова Ирина Яковлевна — д. х. н., профессор, профессор кафедры материаловедения и индустрии на- носистем, Воронежский государственный университет; тел.: (473) 2208356, e-mail: imittova@mail.ru
Elena V. Tominа Томина Елена Викторовна — к. х. н., доцент, доцент кафедры материаловедения и индустрии наносистем, Воронежский государственный университет; тел.: (473) 2208356, e-mail: tomina-e-v@yandex.ru
Nikita N. Tretyakov Третьяков Никита Николаевич — аспирант, Воронежский государственный университет; тел.: (473) 2208356, e-mail: nikos31@mail.ru
Boris V. Sladkopevtcev Сладкопевцев Борис Владимирович — преподава- тель кафедры материаловедения и индустрии наноси- стем, Воронежский государственный университет; тел.: (473) 2208356, e-mail: dp-kmins@yandex.ru

Ключевые слова:

хемостимулированное оксидирование, фосфид индия, оксид ванадия (V).

Аннотация

Установлена зависимость кинетических параметров и механизма хемостимулированного оксидирования фосфида индия от способа введения V2O5 в систему. Магнетронное напыление наноразмерных слоев оксида ванадия (V) в определенной мере «навязывает» про-
текание процесса по синхронному каталитическому механизму, поскольку сформированная граница раздела хемостимулятор — InP играет роль единого активного центра, на котором интенсивно развиваются взаимодействия V2O5 с компонентами подложки. Введение хемости-
мулятора через газовую фазу испарением из контейнера обеспечивает транзитный механизм оксидирования фосфида индия.