МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОЙ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ АНИЗОТРОПНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН И ПЛЕНОК

Vladimir V. Filippov; Nikolay N. Polyakov; Evgeniy N. Bormontov

Авторы

Vladimir V. Filippov Филиппов Владимир Владимирович — к. ф.-м. н., доцент, заведующий кафедрой физики, Липецкий госу- дарственный педагогический университет; тел.: (4742) -328385, e-mail: wwﬁlippow@mail.ru
Nikolay N. Polyakov Поляков Николай Николаевич — д. ф.-м. н., профессор кафедры физики, Липецкий государственный педагогический университет; тел.: (4742) 328385, e-mail: nnpolakov@mail.ru
Evgeniy N. Bormontov Бормонтов Евгений Николаевич — д. ф.-м. н., профессор, заведующий кафедрой физики полупроводников и микроэлектроники, Воронежский государственный университет; тел.: (4732) 208633, e-mail: me144@phys. vsu.ru

Ключевые слова:

анизотропный полупроводник, пленка, распределение потенциала, электропроводность.

Аннотация

Представлен быстрый способ определения компонент тензора удельной электропроводности тонких полупроводниковых пластин на основе известного четырехзондового метода. Предложенный метод теоретически обоснован путем решения соответствующих
краевых задач электродинамики, отличается простотой измерений и расчётов, не требует применения сложной аппаратуры, выполнен учет граничных условий.