ТВЕРДОСТЬ ПЛЕНОК СИСТЕМЫ Al — Cu
Ключевые слова:
пленки, алюминий, медь, наноиндентирование, твердость, структура, фа- зовый состав, морфология поверхности.Аннотация
Проведено сопоставление твердости наноструктурных пленок Al, Cu и системы Al — Cu. Установлено, что в эквивалентных термических режимах конденсации пленки системы Al — Cu, полученные в результате совместного распыления металлов, имеют твердость выше, чем пленки Al и Cu. Показано, что увеличение твердости гетерофазных пленок системы Al — Cu, сконденсированных при температуре подложке ТП = 300 К, по сравнению с однофазными пленками металлов связано с уменьшением размера зерен, а при ТП = 570 К — с образованием интерметаллидов.
Скачивания
Данные по скачиваниям пока не доступны.
Библиографические ссылки
Загрузки
Опубликован
2012-03-01
Выпуск
Раздел
Статьи
Как цитировать
ТВЕРДОСТЬ ПЛЕНОК СИСТЕМЫ Al — Cu. (2012). Конденсированные среды и межфазные границы, 14(1), 53-59. https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/947
