МЕТОДИКА ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ НЕОДНОРОДНЫХ ПО ГЛУБИНЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛЕНОК

Vladimir V. Filippov; Sergei E. Lusyanin; Evgeniy N. Bormontov

Авторы

Vladimir V. Filippov Филиппов Владимир Владимирович — к.ф.-мат.н., доцент, заведующий кафедрой физики, Липецкий государственный педагогический университет; тел.: (4742) 328385, e-mail: wwfi lippow@mail.ru
Sergei E. Lusyanin Лузянин Сергей Евгеньевич — старший преподаватель, кафедра электроники телекоммуникаций и компьютерных технологий, Липецкий государственный педагогический университет; тел.: (4742) 328388, e-mail: luzyanin_se@mail.ru
Evgeniy N. Bormontov Бормонтов Евгений Николаевич — д.ф.-мат.н., профессор, заведующий кафедрой физики полупроводников и микроэлектроники, Воронежский государственный университет; тел.: (4732) 208633, e-mail: PlPhys@main. vsu.ru

Ключевые слова:

неоднородный полупроводник, пленка, распределение потенциала, поверхностная электропроводность, сопротивление, зонд.

Аннотация

Предложена методика измерения электропроводности неоднородных по глубине полупроводниковых структур. Рассмотрены практически важные случаи, когда электропроводимость в пленке изменяется с глубиной по экспоненциальному закону, а также описывается функцией распределения Гаусса. Теоретическое обоснование произведено путем решения краевых задач электродинамики с соответствующими граничными условиями.