ИССЛЕДОВАНИЕ СЛОЕВ И НАНОПОРОШКОВ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ МЕТОДАМИ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ И УЛЬТРАФИОЛЕТОВОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
Аннотация
В работе методами рентгеновской дифракции и УФ-спектроскопии проведены исследования образцов пористого кремния с двумя различными размерами пор и полученных из них нанопорошков. Установлены разупорядочение кристаллов в пористом слое относительно исходной подложки в результате электрохимического формирования пористого слоя, особенности спектров оптического поглощения пористых слоев и нанопорошков и различия между ними.
Работа, в части отработки методик создания эпитаксиальных гетеро и наноструктур с высокими функциональными свойствами на кремниевых подложках, выполнена при поддержке гранта Президента РФ МД-188.2017.2 и МК-4865.2016.2.
Работа, в части управления морфологией, составом поверхности и функциональными характеристиками нанопорошков кремния, выполнена при финансовой поддержке гранта РФФИ 17-32-50004 мол_нр.
Экспериментальные исследования были проведены с помощью научно-технической базы ЦКПНО ВГУ.
Скачивания
Литература
2. Gang Wang, Siu-Tung Yau, Mantey K., Nayfeh Munir H. Opt. Comm., 2008, vol. 281, pp. 1765–1770. DOI:10.1016/j.optcom.2007.07.070
3. Salcedo W. J., Fernandez F. J. R. and Rubim J. C. Phys. Stat. Sol. (C), 2004, vol. 1, no. S1, pp. 26–30. DOI: 10.1002/pssc.200404913
4. Min Yu, Xiao Huan Mei ,Han Shou, Jun Xiao. Sci. China Chem., 2013, vol. 56, no. 8, pp. 1152–1163. DOI: 10.1007/s11426-013-4849-1
5. Len’shin A. S., Kashkarov V. M., Seredin P. V., Agapov B. L., Minakov D. A., Tsipenyuk V. N., Domashevskaja E. P. Tech. Phys. Letters, 2014, vol. 59, no. 2, pp. 224–229. DOI: 10.1134/S1063784214020145
6. Len’shin A. S., Kashkarov V. M., Goloshhapov D. L., Seredin P. V., Polumestnaja K. A., Maraeva E. V., Soldatenko S. A., Jurakov Ju. A., Domashevskaja E. P. Inorg. Mat., 2012, vol. 48, no. 10, pp. 965–970. DOI: 10.1134/S0020168512100032
7. Polkovnikova Ju. A., Len’shin A. S., Seredin P. V., Minakov D. A.. Inorg. Mat., 2017, vol. 53, no. 5, pp. 479– 485. DOI: 10.1134/S0020168517050156
8. Len’shin A. S., Kashkarov V. M., Turishhev S. Ju., Smirnov M. S., Domashevskaja E. P. Tech. Phys. Lett., 2011, vol. 37, no. 9, pp. 789-792. DOI: 10.1134/S1063785011090124
9. Len’shin A. C., Kashkarov B. M., Tsipenyuk B. H., Seredin P. V., Agapov B. L., Minakov D. A., Domashevskaja Je. P. Tech. Phys., 2013, vol. 58, no. 2, pp. 284–288. DOI: 10.1134/S1063784213020151
10. Lenshin A. S., Seredin P. V., Agapov B. L., Minakov D. A., Kashkarov V. M. Mat. Sci. in Sem. Proc., 2015, vol. 30, pp. 25–30. DOI: 10.1016/j.mssp.2014.09.040
11. Seredin P. V., Lenshin A. S., Kashkarov V. M., Lukin A. N., Arsentiev I. N., Bondarev A. D. Tarasov I. S. Mat. Sci. in Sem. Proc., 2015, vol. 39, pp. 551–558. DOI:10.1016/j.mssp.2015.05.067
12. Seredin P. V., Kashkarov V. M., Arsentyev I. N., Bon darev A. D., Tarasov I. S. Phys. B Condens. Matter, 2016, vol. 495, pp. 54–63. DOI:10.1016/j.physb.2016. 04.044
13. Seredin P. V., Lenshin A. S., Goloshchapov D. L., Lukin A. N., Arsentyev I. N., Bondarev A. D. Tarasov I. S. Semicond., 2015, vol. 49, pp. 915–920. DOI:10.1134/S1063782615070210
14. Seredin P. V., Kashkarov V. M., Arsentyev I. N., Bondarev A. D., Tarasov I. S. Phys. B Condens. Matter, 2016, vol. 495, no. 15, pp. 54-63. DOI: 10.1016/j.physb. 2016.04.044
15. Uhanov, Ju. I. Optical Properties of Semiconductors. Nauka publ., 1977, 366 p. (in Russian)
16. Tauc Ja. Soviet Physics-Uspekhi [Advances in Physical Sciences], 1968; vol. 94, no. 3, pp. 501–534.
17. Ledoux G., Guillois O., Porterat D., and Reynaud C. Phys. Rev. B., 2000, vol. 62, no. 23, pp. 15943–15951. DOI: 10.1103/PhysRevB.62.15942
