OPTICAL PROPERTIES OF ULTRATHIN FILMS Al2O3 ON GaAs (100) SUBSTRATES

  • Pavel V. Seredin
  • Dmitry L. Goloshchapov
  • Ivan N. Arsentyev
  • Alexander D. Bondarev
  • Marina G. Rastegaeva
  • Iliya S. Tarasov

Abstract

В работе изучены оптические свойства ультратонких пленок оксида алюминия,
полученных методом ионно-плазменного распыления. Экспериментально показано, что в из-
готовленных таким образом аморфных пленках зарождаются кристаллы α-оксида алюминия
Al2O3, при этом пленки пропускают оптическое излучение в ИК, видимом и ультрафиолетовом
диапазоне и потенциально значимы для создания на их основе просветляющих покрытий
зеркал мощных полупроводниковых лазеров на основе AIIIBV.

Downloads

Download data is not yet available.

Author Biographies

Pavel V. Seredin

Dr. Sci. (Phys.-Math.), Senior Researcher, Department of Solid State Physic and Nanostructures,
Voronezh State University; e-mail: paul@phys.vsu.ru

Dmitry L. Goloshchapov

Cand. Sci. (Phys.-Math.), Chief Engineer, Senior Researcher, Department of Solid State Physic and Nanostructures, Voronezh State University

Ivan N. Arsentyev

Dr. Sci. (Eng.), Professor, Ioffe Physical and Technical Institute; e-mail: arsentyev@mail.ioffe.ru

Alexander D. Bondarev

Cand. Sci. (Phys.-Math.), Senior Researcher, Ioffe Physical and Technical Institute, Saint-Petersburg

Marina G. Rastegaeva

Cand. Sci. (Phys.-Math.), Senior Researcher, Ioffe Physical and Technical Institute, Saint-Petersburg

Iliya S. Tarasov

Dr. Sci. (Phys.-Math.), Professor, Head of the Laboratory, Ioffe Physical and Technical Institute,
Saint-Petersburg

References

1. Uchida K. // J. Cryst. Growth. 2003. V. 248. P. 124.
2. Mimila-Arroyo J., Brand S. W. // Appl. Phys. Lett. 2000. V. 77. P. 1164.
3. Seredin P. V., Glotov A. V., Domashevskaya E. P., et al. // Semiconductors. 2010. V. 44. I. 2. P. 184—188.
4. Seredin P. V., Glotov A. V., Domashevskaya E. P., et al. // Semiconductors. 2009. V. 43. I. 12. P. 1610—1616.
5. Seredin P. V., Domashevskaya P., Arsentyev I. N., et al. // Semiconductors. 2013. V. 47. I. 1. P. 1—6.
6. Monier C., et al. // Appl. Phys. Lett. 2002. V. 81. P. 2103.
7. Takamoto T., Agui T., Ikeda E. // Sol. Energy Mater. Sol. Cells. 2001. V. 66. P. 511.
8. Seredin P. V., Glotov A. V., Domashevskaya E. P., et al. // Applied Surface Science. 2013. V. 267. P. 181—184.
9. Domashevskaya E. P., Gordienko N. N., Rumyantseva N. A., et al. // Semiconductors. 2008. V. 42. I. 9. P. 1069—1075.
10. Seredin P. V., Glotov A. V., Ternovaya V. E., et al. // Semiconductors. 2011. V. 45. I. 11. P. 1433—1440.
11. Jun B. K., et al. // Thin Solid Films. 2000. V. 360. P. 229—232.
12. Siddhartha Dradhan K., еt al. // Surface and Coat. Technol. 2004. V. 76. I. 3. P. 382—384.
13. Chou T. C., Nieh T. G., McAdams S.D., Pharr G. M. // Scripta Met. 1991. V. 25. I. 10. P. 2203—2208.
14. Hoetzsch G., Zywitzki O., Sahm H. // 40th Annual Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters. 1997. April 12—17. New Orlean. USA.
15. Cheng C. — W. and Fitzgerald E. A. // Appl. Phys. Lett. 2010. V. 96. P. 202101.
16. Борисова А. Л., Адеева Д. И., Сладкова В. Н. // Автом. сварка. 1997. № 9 (534). C. 26—32.
17. Крушинская Л. А., Стельмах Я. А. // Вопросы атомной науки и техники. 2011. № 6. C. 92—98.
18. Seredin P. V., Glotov A. V., Domashevskaya E. P., et al. // Semiconductors. 2009. V. 43. I. 12. P. 1610—1616.
19. Seredin P. V., Domashevskaya É. P., Lukin A. N., et al. // Semiconductors. 2008. V. 42. I. 9. P. 1055—1061/
20. Pechar František // Crystal Research and Technology. 1985. V. 20. I. 2. P. 239—246.
Published
2014-06-22
How to Cite
Seredin, P. V., Goloshchapov, D. L., Arsentyev, I. N., Bondarev, A. D., Rastegaeva, M. G., & Tarasov, I. S. (2014). OPTICAL PROPERTIES OF ULTRATHIN FILMS Al2O3 ON GaAs (100) SUBSTRATES. Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 16(2), 196-200. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/826
Section
Статьи

Most read articles by the same author(s)

1 2 3 > >>