SYNTHESIS AND OPTICAL PROPERTIES OF NANOCRYSTALLINE In2O3 FILMS, DEPOSITION BY REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING
Abstract
Методом реактивного магнетронного распыления индия в плазме аргона и кис-
лорода c использованием модернизированной установки СИАМ, построенной на базе ваку-
умного поста УВН-1, синтезированы однофазные нанокристаллические пленки In2O3 со
структурой биксбиита. Размер кристаллитов, определенный по уширению рефлексов, составил
6 нм. Методами адсорбционной спектроскопии в области края собственного поглощения
установлено, что пленки оксида индия имеют два типа переходов: энергия непрямых пере-
ходов составляет значение Еgi=2.93 эВ, а прямых переходов Еgd=3.67 эВ. Термообработка в по-
токе кислорода показала, что максимальное пропускание 84 %. было достигнуто при темпера-
туре Т=473 К. При увеличении температуры до 773 К ширина запрещенной зоны уменьшает-
ся до Еg=3.64 эВ, что связано с размерным эффектом — увеличением до 14 нм размеров зерен
In2O3 при кристаллизации.
Downloads
References
2. Girtan M. // Surf. Coat. Technol. 2004. V. 184. № 2—3. P. 219—224.
3. Granqvist C. G. // Sol. Energy Mater. and Solar Cells. 2007. V. 91. P. 1529—1598.
4. Wang L, Yoon M. H., Lu G., et al. // Nat. Mater. 2007. V. 6. № 4. P. 317.
5. Kathan N. Abdullah // Tikrit J. of Pure Science. 2010. V. 15. № 1. P. 26—265.
6. Adurodija F. O., Izumi H., Ishihara T., et al. // Appl. Phys. Lett. 1999. V. 74. P. 3059.
7. Mohan Babu P., Radhakrishnaa B., Venkata Rao G., et al. // J. of Optoelectronics and Advanced Materials. 2004. V. 6. № 1. P. 205—210.
8. G. Kiriakidis, N. Katsarakis // J. Phys.: Condens. Matter. 2004. V. 16. S3757–S3768.
9. Крылов П. Н., Закирова Р. М., Федотова И. В. // ФТП. 2013. Т. 47. № 10. С. 57—72.
10. Girtan M., Folcher G. // Surf. Coat. Technol. 2003. V. 172. № 2—3. P. 242—250.
11. Pramod N. G., Pandey S. N., Sahay P. P. // Ceram. Int. 2012. V. 38. № 5. P. 4151—4158.
12. Francioso L., Forleo A., Capone S., et al. // Sens. Actuators, B: Chemical. 2006. V. 114. № 2. P. 646—655.
13. Kazuhiro Kato, Hideo Omoto, Takao Tomioka., еt al. // Thin Solid Films. 2011. V. 520. № 1. P. 110—116.
14. Суздалев И. П. Физико-химия нанокластеров, нано-структур и наноматериалов. М.: КомКнига, 2006. 592 с.
