ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА УЛЬТРАТОНКИХ ПЛЕНОК Al2O3 НА ПОДЛОЖКАХ GaAs(100)

Pavel V. Seredin; Dmitry L. Goloshchapov; Ivan N. Arsentyev; Alexander D. Bondarev; Marina G. Rastegaeva; Iliya S. Tarasov

Authors

Pavel V. Seredin
Dmitry L. Goloshchapov
Ivan N. Arsentyev
Alexander D. Bondarev
Marina G. Rastegaeva
Iliya S. Tarasov

Keywords:

Al2O3, оксид алюминия, инфракрасная спектроскопия, ультрафиолетовая спектроскопия.

Abstract

В работе изучены оптические свойства ультратонких пленок оксида алюминия,
полученных методом ионно-плазменного распыления. Экспериментально показано, что в из-
готовленных таким образом аморфных пленках зарождаются кристаллы α-оксида алюминия
Al2O3, при этом пленки пропускают оптическое излучение в ИК, видимом и ультрафиолетовом
диапазоне и потенциально значимы для создания на их основе просветляющих покрытий
зеркал мощных полупроводниковых лазеров на основе AIIIBV.

Downloads

Download data is not yet available.

Author Biographies

Pavel V. Seredin

Dr. Sci. (Phys.-Math.), Senior Researcher, Department of Solid State Physic and Nanostructures,
Voronezh State University; e-mail: paul@phys.vsu.ru
Dmitry L. Goloshchapov

Cand. Sci. (Phys.-Math.), Chief Engineer, Senior Researcher, Department of Solid State Physic and Nanostructures, Voronezh State University
Ivan N. Arsentyev

Dr. Sci. (Eng.), Professor, Ioffe Physical and Technical Institute; e-mail: arsentyev@mail.ioffe.ru
Alexander D. Bondarev

Cand. Sci. (Phys.-Math.), Senior Researcher, Ioffe Physical and Technical Institute, Saint-Petersburg
Marina G. Rastegaeva

Cand. Sci. (Phys.-Math.), Senior Researcher, Ioffe Physical and Technical Institute, Saint-Petersburg
Iliya S. Tarasov

Dr. Sci. (Phys.-Math.), Professor, Head of the Laboratory, Ioffe Physical and Technical Institute,
Saint-Petersburg