ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА УЛЬТРАТОНКИХ ПЛЕНОК Al2O3 НА ПОДЛОЖКАХ GaAs(100)

Pavel V. Seredin; Dmitry L. Goloshchapov; Ivan N. Arsentyev; Alexander D. Bondarev; Marina G. Rastegaeva; Iliya S. Tarasov

Авторы

Pavel V. Seredin
Dmitry L. Goloshchapov
Ivan N. Arsentyev
Alexander D. Bondarev
Marina G. Rastegaeva
Iliya S. Tarasov

Ключевые слова:

Al2O3, оксид алюминия, инфракрасная спектроскопия, ультрафиолетовая спектроскопия.

Аннотация

В работе изучены оптические свойства ультратонких пленок оксида алюминия,
полученных методом ионно-плазменного распыления. Экспериментально показано, что в из-
готовленных таким образом аморфных пленках зарождаются кристаллы α-оксида алюминия
Al2O3, при этом пленки пропускают оптическое излучение в ИК, видимом и ультрафиолетовом
диапазоне и потенциально значимы для создания на их основе просветляющих покрытий
зеркал мощных полупроводниковых лазеров на основе AIIIBV.

Скачивания

Данные по скачиваниям пока не доступны.

Биографии авторов

Pavel V. Seredin

Середин Павел Владимирович — д. ф.-м. н., с. н. с., кафедра физики твердого тела и наноструктур, Воронежский государственный университет; e-mail: paul@phys.vsu.ru
Dmitry L. Goloshchapov

Голощапов Дмитрий Леонидович — к. ф.-м. н., ведущий инженер, кафедра физики твердого тела и наноструктур, Воронежский государственный университет
Ivan N. Arsentyev

Арсентьев Иван Никитич — д. т. н., в. н. с., профессор, ФТИ им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург;
e-mail: arsentyev@mail.ioffe.ru
Alexander D. Bondarev

Бондарев Александр Дмитриевич — к. ф.-м. н., с. н. с., ФТИ им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург
Marina G. Rastegaeva

Растегаева Марина Геннадьевна — к. ф.-м. н., н. с., ФТИ им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург
Iliya S. Tarasov

Тарасов Илья Сергеевич — д. ф.-м. н., профессор, зав. лабораторией, ФТИ им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-
Петербург