СТРУКТУРА, ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ Si1–xGex

  • Виктор Николаевич Семенов
  • Лариса Яковлевна Твердохлебова
  • Юрий Алексеевич Юраков
  • Евгений Григорьевич Гончаров

Abstract

Исследованы структура, оптические и электрические характеристики пленок на основе твердых растворов Si1-xGex (х≤0.18), полученных методом магнетронного распыления, до и после термических обработок в разных режимах быстрого и изотермического отжигов. Полученные пленки имеют оптическую ширину запрещенной зоны, которая меняется в пределах 1.45 ÷1.72 эВ в интервале концентраций Ge х=0.01÷0.11. Диапазон изменения удельной проводимости пленок составляет 10-10÷10-3 Ом-1·см-1.

Downloads

Download data is not yet available.
Published
2015-05-28
How to Cite
Семенов, В. Н., Твердохлебова, Л. Я., Юраков, Ю. А., & Гончаров, Е. Г. (2015). СТРУКТУРА, ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ Si1–xGex. Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 17(2), 240-248. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/68
Section
Статьи

Most read articles by the same author(s)

1 2 > >>