СТРУКТУРА, ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ Si1–xGex

Abstract

Исследованы структура, оптические и электрические характеристики пленок на основе твердых растворов Si1-xGex (х≤0.18), полученных методом магнетронного распыления, до и после термических обработок в разных режимах быстрого и изотермического отжигов. Полученные пленки имеют оптическую ширину запрещенной зоны, которая меняется в пределах 1.45 ÷1.72 эВ в интервале концентраций Ge х=0.01÷0.11. Диапазон изменения удельной проводимости пленок составляет 10-10÷10-3 Ом-1·см-1.