СТРУКТУРА, ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ Si1–xGex

  • Виктор Николаевич Семенов
  • Лариса Яковлевна Твердохлебова
  • Юрий Алексеевич Юраков
  • Евгений Григорьевич Гончаров
Ключевые слова: кремний, германий, изовалентная примесь, распад твердого раствора, оптическая ширина запрещенной зоны, удельная проводимость, плотность локализованных состояний

Аннотация

Исследованы структура, оптические и электрические характеристики пленок на основе твердых растворов Si1-xGex (х≤0.18), полученных методом магнетронного распыления, до и после термических обработок в разных режимах быстрого и изотермического отжигов. Полученные пленки имеют оптическую ширину запрещенной зоны, которая меняется в пределах 1.45 ÷1.72 эВ в интервале концентраций Ge х=0.01÷0.11. Диапазон изменения удельной проводимости пленок составляет 10-10÷10-3 Ом-1·см-1.

Скачивания

Данные скачивания пока не доступны.
Опубликован
2015-05-28
Как цитировать
Семенов, В. Н., Твердохлебова, Л. Я., Юраков, Ю. А., & Гончаров, Е. Г. (2015). СТРУКТУРА, ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ Si1–xGex. Конденсированные среды и межфазные границы, 17(2), 240-248. извлечено от https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/68
Выпуск
Том 17 № 2 (2015)
Раздел
Статьи

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)

<< < 1 2