STUDY OF SURFACE MORPHOLOGY Ti-Nb OXIDIZED FILMS
Abstract
Изучено влияние концентрации Nb на морфологию поверхности оксидированных
пленок системы Ti-Nb, полученных методом магнетронного распыления металлических ми-
шеней. Формирование металлических пленок осуществлялось в среде аргона в вакуумной
установке двумя неравномощными магнетронными источниками. Соотношение Ti и Nb в об-
разцах, установленное с помощью энергодисперсионного анализа, составило соответственно:
89:11, 80:20, 74:26, 47:53, 23:77 ат. %. Морфология поверхности металлических пленок после
отжига в атмосфере кислорода при 1073 К значительно различается, как по однородности
пленок, так и по толщине получаемых оксидных структур, и зависит от концентрации Nb
в полученных металлических образцах.
Downloads
Download data is not yet available.
References
1. Ladam, J. Moe Graff // Surface and Interface Analysis. 1999. V. 112. P. 271—277
2. Федоров Н. Ф., Салтыкова О. В., Пивоварова А. П. // Журнал неорганическая химия 1989. Т. 34. С. 1316—1319.
3. Технология тонких пленок (справочник) / [под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга]. М: Сов. радио, 1977. Т. 1. 664 с.
4. Минайчев В. Е., Одиноков В. В., Тюфаева Г. П. Магнетронные распылительные устройства (магратроны). М: ЦНИИ Электроника, 1979. 56 c.
5. Зайцев С. В., Лукин А. Н., Ховив А. М., Чернышев В. В. Влияние наноструктурирования анодных оксидов алюминия на их оптические параметры // Изв. вузов: Физика. 2009. Т. 52. № 12/3. С. 100—106.
6. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ / Гоулдстейн Дж. и др. М.: Мир, 1984. Т. 1. 303 c.
7. Русаков А. А. Рентгенография металлов. М.: Атомиздат, 1977. 480 с.
8. Рид. С. Дж. Б. Электронно-зондовый микроанализ и растровая электронная микроскопия в геологии. М.: Техносфера, 2008. 232 с.
9. Диаграммы состояния двойных металлических систем/ [под. ред. Н. П. Лякишева]. М.: Машиностроение, 1997. 1024 с.
2. Федоров Н. Ф., Салтыкова О. В., Пивоварова А. П. // Журнал неорганическая химия 1989. Т. 34. С. 1316—1319.
3. Технология тонких пленок (справочник) / [под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга]. М: Сов. радио, 1977. Т. 1. 664 с.
4. Минайчев В. Е., Одиноков В. В., Тюфаева Г. П. Магнетронные распылительные устройства (магратроны). М: ЦНИИ Электроника, 1979. 56 c.
5. Зайцев С. В., Лукин А. Н., Ховив А. М., Чернышев В. В. Влияние наноструктурирования анодных оксидов алюминия на их оптические параметры // Изв. вузов: Физика. 2009. Т. 52. № 12/3. С. 100—106.
6. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ / Гоулдстейн Дж. и др. М.: Мир, 1984. Т. 1. 303 c.
7. Русаков А. А. Рентгенография металлов. М.: Атомиздат, 1977. 480 с.
8. Рид. С. Дж. Б. Электронно-зондовый микроанализ и растровая электронная микроскопия в геологии. М.: Техносфера, 2008. 232 с.
9. Диаграммы состояния двойных металлических систем/ [под. ред. Н. П. Лякишева]. М.: Машиностроение, 1997. 1024 с.
Published
2014-06-22
How to Cite
Zaitcev, S. V., Lobanov, M. V., Gerasimenko, Y. V., & Khoviv, A. M. (2014). STUDY OF SURFACE MORPHOLOGY Ti-Nb OXIDIZED FILMS. Condensed Matter and Interphases, 16(2), 163-167. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/821
Issue
Section
Статьи
