ЭЛЕКТРОННОЕ СТРОЕНИЕ МАССИВОВ НИТЕВИДНОГО КРЕМНИЯ, СФОРМИРОВАННОГО МЕТОДОМ MAWCE

  • Vladimir Sivakov
  • Сергей Юрьевич Турищев
  • Владимир Андреевич Терехов
  • Дмитрий Николаевич Нестеров
  • Кристина Геннадьевна Колтыгина
  • Елена Владимировна Паринова
  • Дмитрий Анатольевич Коюда
  • Alexander Schleusener
  • Эвелина Павловна Домашевская

Abstract

С использованием метода металл-ассистированного химического травления (англ. MAWCE) на подложках кристаллического кремния различной проводимости были получены массивы нитевидного Si. Морфология сформированных массивов и отдельных нитей была изучена методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии. Методами ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии и спектроскопии ближней тонкой структуры края рентгеновского поглощения с использованием синхротронного излучения исследован фазовый состав поверхности и приповерхностных слоев, а также электронное строение сформированных массивов нитевидного кремния. Образец, которому свойственна более развитая поверхность массивов кремниевых нитей и меньшее удельное сопротивление подложки, окислен сильнее с образованием фаз промежуточных оксидов кремния при глубинах анализа от 10 нм до 120 нм. В то же время, другой образец, сформированный на подложке с высоким удельным сопротивлением, в существенно меньшей степени подвержен естественному окислению, и с увеличением глубины анализа содержит в основном фазу кристаллического кремния. Обнаружен эффект аномального провала интенсивности тонкой структуры края рентгеновского поглощения для нитей, сформированных на подложке с высоким удельным сопротивлением. Сделано предположение о природе и механизме наблюдаемого явления.

Downloads

Download data is not yet available.
Published
2016-03-31
How to Cite
Sivakov, V., Турищев, С. Ю., Терехов, В. А., Нестеров, Д. Н., Колтыгина, К. Г., Паринова, Е. В., Коюда, Д. А., Schleusener, A., & Домашевская, Э. П. (2016). ЭЛЕКТРОННОЕ СТРОЕНИЕ МАССИВОВ НИТЕВИДНОГО КРЕМНИЯ, СФОРМИРОВАННОГО МЕТОДОМ MAWCE. Condensed Matter and Interphases, 18(1), 130-141. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/117
Section
Статьи

Most read articles by the same author(s)

1 2 > >>