ЭЛЕКТРОННОЕ СТРОЕНИЕ И СОСТАВ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ МНОГОСЛОЙНЫХ НАНОПЕРИОДИЧЕСКИХ СТРУКТУР a-Si/ZrO2 и a-SiOx/ZrO2 ПО ДАННЫМ СИНХРОТРОННЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ

Сергей Юрьевич Турищев; Дмитрий Анатольевич Коюда; Владимир Андреевич Терехов; Елена Владимировна Паринова; Дмитрий Николаевич Нестеров; Денис Александрович Грачев; Ирина Алексеевна Карабанова; Алексей Валентинович Ершов; Александр Иванович Машин; Эвелина Павловна Домашевская

Authors

Сергей Юрьевич Турищев
Дмитрий Анатольевич Коюда
Владимир Андреевич Терехов
Елена Владимировна Паринова
Дмитрий Николаевич Нестеров
Денис Александрович Грачев
Ирина Алексеевна Карабанова
Алексей Валентинович Ершов
Александр Иванович Машин
Эвелина Павловна Домашевская

Keywords:

электронное строение, фазовый состав, синхротронное излучение, XANES, многослойные нанопериодические структуры, нанокристаллы, кремний

Abstract

В работе представлены результаты исследований электронного строения и фазового состава многослойных нанопериодических структур a-Si/ZrO2 и a-SiOx/ZrO2 синхротронным методом спектроскопии ближней тонкой структуры края рентгеновского поглощения. Исследованные структуры были подвергнуты температурному отжигу в диапазоне 500–1100 °С с целью формирования наночастиц Si для реализации фотолюминесцентных свойств. Показана заметная перестройка электронно-энергетического спектра, вызванная изменениями в составе поверхностных слоев изученных структур. Обсуждается различный вклад субоксидов кремния и образование нанокристаллов Si в изученных наноструктурах.