НЕЛИНЕЙНЫЕ ЭФФЕКТЫ СОВМЕСТНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ ОКСИДОВ р- И d-ЭЛЕМЕНТОВ ПРИ СОЗДАНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ПОВЕРХНОСТИ GaAs И InP ОБЗОР

Авторы

  • Victor F. Kostryukov Кострюков Виктор Федорович – д. х. н., доцент, доцент кафедры материаловедения и индустрии наносистем, Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия; тел.: +7 (473) 2208356; e-mail: vc@chem.vsu.ru
  • Irina Y. Mittova Миттова Ирина Яковлевна – д. х. н., профессор, профессор кафедры материаловедения и индустрии наносистем, Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия; тел.: +7 (473) 2208356, e-mail: imittova@mail.ru
  • Elena V. Tominа Томина Елена Викторовна – д. х. н., доцент, доцент кафедры материаловедения и индустрии наносистем, Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия; тел.: +7(473) 2208356; e-mail: tomina-e-v@yandex.ru
  • Boris V. Sladkopevtsev Сладкопевцев Борис Владимирович – к. х. н., доцент кафедры материаловедения и индустрии наносистем, Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия; тел.: +7(473) 2208356; e-mail:dp-kmins@yandex.ru
  • Anna S. Parshina Паршина Анна Сергеевна – студент кафедры материаловедения и индустрии наносистем, Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия; тел.: +7(473) 2208356; e-mail: anyuta_parshina@mail.ru
  • Dar'ya S. Balasheva Балашева Дарья Степановна – студент кафедры материаловедения и индустрии наносистем, Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия; тел.: +7 (473) 2208356; e-mail: balasheva.98@mail.ru

DOI:

https://doi.org/10.17308/kcmf.2018.20/625

Ключевые слова:

gallium arsenide, indium phosphide, thermal oxidation, chemostimulators, nanoscale films, nonlinear effects, heterostructures, gas sensitivity.

Аннотация

Рассмотрен процесс термооксидирования арсенида галлия и фосфида индия под воздействием бинарных оксидных композиций (хемостимулятор+хемостимулятор и хемостимулятор+инертный компонент). Установлены и интерпретированы нелинейные эффекты зависимости толщины оксидной пленки на поверхности GaAs и InP от состава композиции оксидов-хемостиуляторов. Доказана возможность получения аддитивной во всем интервале составов зависимости толщины оксидной пленки на поверхности GaAs от состава при использовании композиций оксид-хемостимулятор+инертный компонент. Установлена пространственная локализация связывающих взаимодействий между оксидами-хемостимуляторами, которые приводят к наблюдаемым нелинейным эффектам. Синтезированные таким способом тонкие пленки на поверхности GaAs и InP обладают улучшенными электрофизическими свойствами и проявляют газочувствительный отклик в атмосфере газов-восстановителей.

 

Результаты исследований получены на оборудовании Центра коллективного пользования Воронежского государственного университета. URL:http://ckp.vsu.ru

Работа выполнена при поддержке гранта РФФИ № №18-03-00354_а

Скачивания

Данные по скачиваниям пока не доступны.

Библиографические ссылки

Загрузки

Опубликован

2018-12-13

Выпуск

Том 20 № 4 (2018)

Раздел

Статьи

Как цитировать

НЕЛИНЕЙНЫЕ ЭФФЕКТЫ СОВМЕСТНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ ОКСИДОВ р- И d-ЭЛЕМЕНТОВ ПРИ СОЗДАНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ПОВЕРХНОСТИ GaAs И InP ОБЗОР. (2018). Конденсированные среды и межфазные границы, 20(4), 506-536. https://doi.org/10.17308/kcmf.2018.20/625

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)

1 2 > >>