ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА УЛЬТРАТОНКИХ ПЛЕНОК Al2O3 НА ПОДЛОЖКАХ GaAs(100)
Ключевые слова:
Al2O3, оксид алюминия, инфракрасная спектроскопия, ультрафиолетовая спектроскопия.Аннотация
В работе изучены оптические свойства ультратонких пленок оксида алюминия,
полученных методом ионно-плазменного распыления. Экспериментально показано, что в из-
готовленных таким образом аморфных пленках зарождаются кристаллы α-оксида алюминия
Al2O3, при этом пленки пропускают оптическое излучение в ИК, видимом и ультрафиолетовом
диапазоне и потенциально значимы для создания на их основе просветляющих покрытий
зеркал мощных полупроводниковых лазеров на основе AIIIBV.






