ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ФОСФИДА ИНДИЯ, МОДИФИЦИРОВАННОЙ КОМПОЗИЦИЕЙ (90 %V2O5 + 10 % MnO2)

  • Валентина Евгеньевна Щедрина
  • Никита Николаевич Третьяков
  • Борис Владимирович Сладкопевцев
  • Алексей Алексеевич Самсонов
  • Ирина Яковлевна Миттова

Abstract

Цель данной работы – установление влияния магнетронно нанесённой композиции (90%V2O5+10%MnO2) на кинетику термооксидирования InP, состав и морфологию поверхности в сравнении с оксидированием «чистой» поверхности InP и гетероструктуры V2О5/InP. Показано, что модифицирование поверхности InP композитным хемостимулятором V2O5 + MnO2, содержащим малое количество MnO2 (10 мол. %) приводит к заметным изменениям кинетических характеристик процесса по сравнению как с собственным оксидированием InP, так и при использовании в качестве хемостимулятора нанесённых слоёв V2О5. Установлено, что процесс характеризуется достаточно большими значениями относительного увеличения толщины пленки (в среднем 2-5 раз). Значение эффективной энергии активации достаточно велико и сопоставимо с таковым для оксидирования InP (210 и 270 кДж/моль соответственно). Выявлено положительное влияние изучаемого композитного модификатора на такие характеристики плёнок, как состав и морфологию поверхности. Методом РФА показано обогащение выращенной плёнки одним из целевых продуктов – фосфатом индия – в сравнении с оксидированной гетероструктурой V2О5/InP. После термооксидирования гетероструктуры (90%V2O5 + 10%MnO2)/InP формируются плёнки c зёренной структурой поверхности (средний размер 50 нм) и высотой рельефа, не превышающей 20 нм, что превосходит аналогичные характеристики для гетероструктуры V2О5/InP.

Downloads

Download data is not yet available.
Published
2016-06-09
How to Cite
Щедрина, В. Е., Третьяков, Н. Н., Сладкопевцев, Б. В., Самсонов, А. А., & Миттова, И. Я. (2016). ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ФОСФИДА ИНДИЯ, МОДИФИЦИРОВАННОЙ КОМПОЗИЦИЕЙ (90 %V2O5 + 10 % MnO2). Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 18(2), 256-264. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/132
Section
Статьи

Most read articles by the same author(s)