ВЛИЯНИЕ ИМПУЛЬСНОГО МАГНИТНОГО ПОЛЯ НА ТОПОГРАФИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО ГЕРМАНИЯ

Margarita V. Grechkina; Eugene N. Bormontov

doi:10.17308/kcmf.2017.19/185

Авторы

Margarita V. Grechkina Гречкина Маргарита Владимировна – инженер кафедры физики полупроводников и микроэлектроники, Воронежский государственный университет; e-mail: grechkina_m@mail.ru
Eugene N. Bormontov Бормонтов Евгений Николаевич – д. ф.-м. н., профессор, заведующий кафедрой физики полупроводников и микроэлектроники, Воронежский государственный университет; тел.: +7 (473) 2208481, e-mail: me144@phys.vsu.ru

DOI:

https://doi.org/10.17308/kcmf.2017.19/185

Ключевые слова:

сканирующая силовая микроскопия, слабое магнитное поле, германий, нанокластеры, плазмохимическое травление

Аннотация

Проведен анализ изменения топологии поверхности германия после воздействия слабого импульсного магнитного поля методом сканирующей силовой микроскопии. Обнаружено долговременное немонотонное изменение шероховатости поверхности и микротвердости. Методом плазмохимического травления после воздействия магнитного поля выявлены дефектно-деформационные структуры на поверхности и в объеме кристалла. Обнаружено образование нанокластеров в приповерхностной области германия и проведена оценка их размеров.

Результаты исследований получены на оборудовании Центра коллективного пользования научным оборудованием ВГУ.