ФОРМИРОВАНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ ОКСИДОВ И ХАЛЬКОГЕНИДОВ ОЛОВА И МЕДИ
Abstract
Показана возможность создания тонкопленочных структур на основе оксидов и халькогенидов с одним и тем же катионом, Cu или Sn, по упрощенной технологии. Пленки оксидов меди и олова синтезированы магнетронным напылением тонких слоев металлов с последующим их окислением в кислородсодержащей среде при заданной температуре и времени окисления. Для последующего формирования пленок халькогенидов соответствующих металлов использована обработка в парах халькогенов в реакционной камере типа квазизамкнутого объёма. В представленной работе в качестве халькогена выбрана сера. По данным фазового анализа сформированы пленки SnS и CuS. С помощью метода зонда Кельвина получены значения работ выхода 4.7 эВ и 4.1 эВ, что также соответствует SnS и CuS. По данным атомной силовой микроскопии пленки SnS и CuS являются однородными по фазовому составу. Из анализа данных рентгеновской дифракции определены параметры элементарной решетки и преимущественные плоскости роста - (110) и (111). Из спектров пропускания плёнок SnS и CuS, синтезированных на стеклянных подложках, определена ширина запрещённой зоны: SnS – 1.2 эВ; CuS – 1.5 эВ.
