ФОРМИРОВАНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ ОКСИДОВ И ХАЛЬКОГЕНИДОВ ОЛОВА И МЕДИ

  • Юрий Николаевич Власов
  • Александр Владимирович Буданов
  • Маргарита Владимировна Гречкина
  • Эвелина Павловна Домашевская
  • Евгений Владимирович Руднев
  • Станислав Викторович Рябцев

Abstract

Показана возможность создания тонкопленочных структур на основе оксидов и халькогенидов с одним и тем же катионом, Cu или Sn, по упрощенной технологии. Пленки оксидов меди и олова синтезированы магнетронным напылением тонких слоев металлов с последующим их окислением в кислородсодержащей среде при заданной температуре и времени окисления. Для последующего формирования пленок халькогенидов соответствующих металлов использована обработка в парах халькогенов в реакционной камере типа квазизамкнутого объёма. В представленной работе в качестве халькогена выбрана сера. По данным фазового анализа сформированы пленки SnS и CuS. С помощью метода зонда Кельвина получены значения работ выхода 4.7 эВ и 4.1 эВ, что также соответствует SnS и CuS. По данным атомной силовой микроскопии пленки SnS и CuS являются однородными по фазовому составу. Из анализа данных рентгеновской дифракции определены параметры элементарной решетки и преимущественные плоскости роста - (110) и (111). Из спектров пропускания плёнок SnS и CuS, синтезированных на стеклянных подложках, определена ширина запрещённой зоны: SnS – 1.2 эВ; CuS – 1.5 эВ.

Downloads

Download data is not yet available.
Published
2016-12-14
How to Cite
Власов, Ю. Н., Буданов, А. В., Гречкина, М. В., Домашевская, Э. П., Руднев, Е. В., & Рябцев, С. В. (2016). ФОРМИРОВАНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ ОКСИДОВ И ХАЛЬКОГЕНИДОВ ОЛОВА И МЕДИ. Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 18(4), 481-486. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/156
Section
Статьи

Most read articles by the same author(s)

<< < 1 2 3