ИССЛЕДОВАНИЯ АТОМНОГО И ЭЛЕКТРОННОГО СТРОЕНИЯ АМОРФНЫХ ПЛЁНОК a-SiOx:H, СИНТЕЗИРОВАННЫХ МЕТОДОМ ГАЗОСТРУЙНОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ С АКТИВАЦИЕЙ ЭЛЕКТРОННО-ПУЧКОВОЙ ПЛАЗМОЙ

  • Владимир Андреевич Терехов
  • Елена Владимировна Паринова
  • Дмитрий Евгеньевич Спирин
  • Сергей Яковлевич Хмель
  • Евгений Александрович Баранов
  • Александр Олегович Замчий
  • Борис Владимирович Сеньковский
  • Сергей Юрьевич Турищев

Abstract

Рентгеноспектральными методами исследовалось электронное строение и фазовый состав тонких пленок a-SiOx:H. Пленки синтезировались методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой. Показано, что поверхностные слои (5 нм) и более глубокие слои до 120 нм исследованных пленок представляют собой композит на основе аморфного кремния и оксидов кремния различной степени окисления. Показано, что содержание оксидов кремния растет с увеличением температуры подложки уже в процессе роста пленок. Присутствие субоксидов в пленках приводит к появлению заметной плотности свободных состояний ниже дна зоны проводимости в SiO2, но выше, чем в аморфном гидрогенезированном кремнии.

Downloads

Download data is not yet available.
Published
2015-12-25
How to Cite
Терехов, В. А., Паринова, Е. В., Спирин, Д. Е., Хмель, С. Я., Баранов, Е. А., Замчий, А. О., Сеньковский, Б. В., & Турищев, С. Ю. (2015). ИССЛЕДОВАНИЯ АТОМНОГО И ЭЛЕКТРОННОГО СТРОЕНИЯ АМОРФНЫХ ПЛЁНОК a-SiOx:H, СИНТЕЗИРОВАННЫХ МЕТОДОМ ГАЗОСТРУЙНОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ С АКТИВАЦИЕЙ ЭЛЕКТРОННО-ПУЧКОВОЙ ПЛАЗМОЙ. Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 17(4), 542-551. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/100
Section
Статьи

Most read articles by the same author(s)

1 2 > >>