ИССЛЕДОВАНИЯ ГЕТЕРОФАЗНЫХ СТРУКТУР AlN/GaAs(100) ДИФРАКЦИОННЫМИ И СПЕКТРОСКОПИЧЕСКИМИ МЕТОДАМИ

Халид Махди Таджил Аль Аридх; Павел Владимирович Середин; Вера Евгеньевна Терновая; Дмитрий Леонидович Голощапов; Анатолий Николаевич Лукин; Александр Викторович Федюкин; Иван Никитич Арсентьев; Александр Дмитриевич Бондарев; Ярослав Валерьевич Лубянский

ИССЛЕДОВАНИЯ ГЕТЕРОФАЗНЫХ СТРУКТУР AlN/GaAs(100) ДИФРАКЦИОННЫМИ И СПЕКТРОСКОПИЧЕСКИМИ МЕТОДАМИ

Халид Махди Таджил Аль Аридх
Павел Владимирович Середин
Вера Евгеньевна Терновая
Дмитрий Леонидович Голощапов
Анатолий Николаевич Лукин
Александр Викторович Федюкин
Иван Никитич Арсентьев
Александр Дмитриевич Бондарев
Ярослав Валерьевич Лубянский

Abstract

Методами структурного анализа и оптической спектроскопии были исследованы свойства наноструктурированных пленок нитрида алюминия, полученных методом реактивного ионно-плазменного распыления на подложках GaAs. Показано, что управление морфологией, составом поверхности и оптическими функциональными характеристиками гетерофазных систем AlN/GaAs(100) может быть достигнуто за счет использования подложек GaAs(100) с отклонением 4° к [110].

Downloads

Download data is not yet available.

pdf (Русский)

Published

2016-06-09

How to Cite

Аль Аридх, Х. М. Т., Середин, П. В., Терновая, В. Е., Голощапов, Д. Л., Лукин, А. Н., Федюкин, А. В., Арсентьев, И. Н., Бондарев, А. Д., & Лубянский, Я. В. (2016). ИССЛЕДОВАНИЯ ГЕТЕРОФАЗНЫХ СТРУКТУР AlN/GaAs(100) ДИФРАКЦИОННЫМИ И СПЕКТРОСКОПИЧЕСКИМИ МЕТОДАМИ. Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 18(2), 275-283. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/134

Issue

Vol 18 No 2 (2016)

Section

Статьи